表面粗糙度測量儀DTR技術參數:
測量范圍 Z軸(垂直)160μm / X軸(水平)17.5mm(0.71inch)
分辨率Z軸(垂直) 0.01μm/±20μm 0.02μm/±40μm 0.04μm/±80μm
測量參數 Ra、Rz==Ry(JIS)、Rq、Rt==Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、Rz(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr
顯示范圍 Ra,Rq:0.005μm~16μm;Rz,Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,:0.02μm~160μm Rsm, Rs:1mm;Rmr:0~99%;Rsk:0~99%
圖形 支承率曲線,粗糙度輪廓,直接輪廓
濾波器 RC,PC-RC,Gauss,D-P
取樣長度(lr) 0.25,0.8,2.5mm
評定長度(ln) Ln= lr×n n=1~5
測量原理 位移式差動電感
觸針 天然金剛石,90錐角,5μm針尖半徑
測力 <4mN
導頭 硬質合金,滑行方向半徑40mm
滑行速度 lr=0.25, Vt=0.135mm/s lr=0.8, Vt=0. 5mm/s lr=2. 5, Vt=1mm/s 返回 Vt=1mm/s
示值誤差 不大于±10%
示值變動性 不大于6%






































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