一、電鏡技術參數：

1電子光學

1.1電子槍類型：高分辨肖特基場發(fā)射電子槍

1.2加速電壓：200V-30kV

1.3電子著陸能量：20eV-30keV

*1.4束流大小：1pA-400nA連續(xù)可調，保證能譜高效工作

1.5透鏡（物鏡）幾何結構：60°物鏡幾何結構：支持傾斜較大的樣品（不規(guī)則樣品）

*1.6兼容磁性樣品

1.7光闌：自加熱物鏡光闌

1.8自動烘烤、自動啟動、無需機械合軸

1.9 減速樣品臺

2分辨率

2.1高真空分辨率（STEM掃透模式）：0.6nm@30kV 

2.2高真空分辨率（SE二次電子）：0.7nm@15kV

2.3高真空分辨率（SE二次電子）：0.8nm@1kV(樣品臺減速)

2.4高真空分辨率（SE二次電子）：1.0nm@1kV(不開樣品臺減速)

2.5 10mm分析工作距離分辨率：1.0nm@1kV

3探測系統(tǒng)

3.1 鏡筒內BSE探頭（T1）

3.2 鏡筒內SE探頭（T2）

3.3 鏡筒內探測器 （T3）

3.4 常規(guī)SE探頭 （ETD）

3.5 紅外CCD（觀察樣品臺高度）

3.6 Nav-Cam智能導航相機

4真空系統(tǒng)

4.1泵的組成：1個PVP渦旋泵+1個分子泵+2個離子泵

*4.2抽真空時間：≤ 3.5 分鐘

5樣品倉

*5.1樣品倉內徑：340mm

5.2接口：總共12個，可接能譜3個（1個35°,2個平行180°）

6樣品臺

6.1 五軸全對中馬達樣品臺，行程：X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm

*6.2 傾斜Tilt(°)：-15 ~ +90，旋轉Rotation(°)：360°連續(xù)

6.3 樣品尺寸：可沿 X、 Y 軸旋轉時直徑為 122 mm，樣品高度 距共心點 85mm

6.4 分析工作距離：10mm

*6.5 多功能樣品臺：多用途標準支架，以方式直接安裝到載物臺，最多可支持 18 個標準樣品臺 (Ø12 mm)、3 個預先傾斜的樣品臺、切片樣品和不需要工具來安裝樣品

7軟件

7.1圖像輸出分辨率：65000x65000像素，8/16/24位深度BMP、JPG

7.2光柵掃描：駐留時間25ns到25ms/像素

*7.3智能掃描和漂移補償：SmartSCAN（256 幀平均或積分、線積分和平均法、隔行掃描），DCFI（漂移補償幀積分）

7.4控制：手動/自動控制亮度/對比度

7.5掃描方式：正常掃描、縮小光柵、定點、線掃描、掃描旋轉、傾斜校正

*7.6顯示方式和探測器通道數量：單幅或4幅圖像實時顯示，標準4通道，任意兩個探測器的輸入可混合

7.7配備Map3大視野關聯(lián)軟件

二、能譜儀參數：

技術指標

1、(*)能譜探測器：采用CMOS內置的Si₃N₄窗新型SDD探測器窗口，堅固耐用，晶體有效活區(qū)面積30mm²，X射線信號透過率比傳統(tǒng)的聚合物材料提高35%以上。

2、(*)Si₃N₄新型窗口耐高壓大于8個大氣壓， 耐高溫大于650攝氏度，耐酸堿腐蝕，可等離子直接清洗。

3、(*) 脈沖譜儀處理板集成在探測器內，無需獨立的譜儀箱，能譜儀硬件除了探測器和計算機無需其他部件。

4、分析元素范圍：Be4~Am95

5、(*)能量分辨率(Mn-Ka)：優(yōu)于127eV, 嚴格依照ISO15632國際標準測量

6、優(yōu)異的低能端分辨率： Al Lα to Al Kα 峰比率1:1

7、(*) 輸入計數率 200萬CPS，輸出計數率85萬CPS。

8、在0~200kcps范圍內的分辨率穩(wěn)定性：> 90%

9、(*)能量分辨率和死時間實時顯示。

用途：

場發(fā)射掃描電鏡為材料研究和材料表征的設備之一。它利用電子和物質的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息，如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。主要用于高分子、聚合物及鋰電池材料的微觀形貌標準及其成分分析。具備樣品表面微觀形貌觀測和表面元素成分點、線、面分析，適合分析泛的樣品范圍，從傳統(tǒng)的金屬材料（包含磁性材料）、斷口和拋光斷面，到鋰電池相關的正負極材料的微區(qū)形貌、成分和相分布分析。

工作環(huán)境：

1、電壓：100-240V（-6%，+10%）

2、工作溫度：20±3 ℃

3、 相對濕度：< 80%

4 、震動和磁場需由廠家裝機前測試并給出報告