DynaFiz™動態(tài)測量
新型的ZYGO DynaFiz™ 激光干涉儀是特別設計為在有空氣湍流和振動的環(huán)境中進行光學計量的優(yōu)化的光學儀器。
DynaFiz™ 干涉儀的低噪聲,高分辨率相機和光學放大能力能夠清晰地觀察被測樣品表面的中間空間頻率特征。
DynaFiz™ 干涉儀具有的實時數(shù)據(jù)獲取能力也給光學系統(tǒng)檢測提供了便利。 LivePhase™ 獲取能力提供了實時Zernike反饋為光學系統(tǒng)的光路對準進行追蹤。這是一個電影形式,把一系列動態(tài)圖像連接成電影提供光學系統(tǒng)隨時間變化的過程。DynaFiz™ 干涉儀將使你的計量得到很大的受益。只有從ZYGO你才能得到值得信賴的測量可靠性。
























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