三坐標(biāo)測量儀三軸采用天然高精密花崗巖導(dǎo)軌，保證了整體具有相同的熱力學(xué)性能，避免由于三軸材質(zhì)不同熱膨脹系數(shù)不同所造成的機(jī)器精度誤差。

　　三坐標(biāo)測量儀機(jī)型介紹：

　　結(jié)構(gòu)型式：三軸花崗巖、四面全環(huán)抱的德式活動橋式結(jié)構(gòu)

　　傳動方式：直流伺服系統(tǒng) 預(yù)載荷高精度空氣軸承

　　長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.1μm

　　測頭系統(tǒng)：雷尼紹控制器、雷尼紹測頭、雷尼紹測針

　　機(jī) 臺：高精度（00級）花崗巖平臺

　　使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h

　　空氣壓力：0.4 MPa - 0.6 Mpa

　　空氣流量：25 L/min

　　長度精度MPEe： ≤2.1 L/350 (μm)

　　探測球精度MPEp： ≤2.1μm

　　單支柱移動型三坐標(biāo)測量儀介紹：

　　單支柱移動型，軸為主軸在垂直方向移動，支柱整體沿著水平面的導(dǎo)槽在軸上移動，且垂直軸，而軸連接于支柱上。測量臺沿著水平面的導(dǎo)槽在軸上移動，且垂直軸和軸。此型測量臺面、支柱等具很好的剛性，因此變形少，且各軸的線性刻度尺與測量軸較接近，以符合阿貝定理。

　　單支柱測量臺移動型三坐標(biāo)測量儀介紹：

　　單支柱測量臺移動型，軸為主軸在垂直方向移動，支柱上附有軸導(dǎo)槽，支柱被固定在測量儀本體上。測量時(shí)，測量臺在水平面上沿著軸和軸方向作移動。

　　固定橋架型三坐標(biāo)測量儀介紹：

　　固定橋架型，軸為主軸在垂直方向移動，廂形架導(dǎo)引主軸沿著垂直軸的水平橫梁上做方向移動。橋架(支柱)被固定在機(jī)器本體上，測量臺沿著水平平面的導(dǎo)軌作軸方向的移動，且垂直于和軸。每軸皆由馬達(dá)來驅(qū)動，可確保位置精度，此機(jī)型不適合手動操作。

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