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新款智能型等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) PECVD-500A

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地合肥市
  • 更新時(shí)間2023-07-17
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)合肥市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量296
  • 人氣值7429
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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司坐落在合肥市高新區(qū)科學(xué)大道110號(hào),是一家專注于新材料、新能源、裝備設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)與一體的*,合肥市科技小巨人培育企業(yè)。公司擁有多名專家顧問(wèn),其中千人一位,青年千人2位,教授3位。公司擁有400平米的重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,部分實(shí)驗(yàn)室對(duì)外開(kāi)放。涉及領(lǐng)域包括,石墨烯、碳納米管、高溫?zé)晒夥?、OLED有機(jī)小分子材料、PECVD系統(tǒng)等。另外公司擁有智能高低溫CVD系統(tǒng)、各種真空氣氛管式爐,各種高低溫箱式爐、等離子清洗設(shè)備、RF濺射設(shè)備、各種壓力的手動(dòng)自動(dòng)壓片機(jī)、各種功能尺寸的手套箱、各種功能的球磨機(jī)、金屬陶瓷切磨拋設(shè)備、氧化鋯齒科燒結(jié)爐等設(shè)備。

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新款智能型等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) PECVD-500A
新款智能型等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) PECVD-500A 產(chǎn)品詳情

技術(shù)參數(shù)

加熱系統(tǒng)

溫度

1200℃(1 hour)

使用溫度

≤1100℃

爐膛有效尺寸

Φ100*1650mm(管徑可選)

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

?30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,

‚操作界面為10”工控電腦,內(nèi)置PLC控制程序,

ƒ可將溫控系統(tǒng)、滑軌爐滑動(dòng)(時(shí)間和距離)設(shè)定為程序控制

加熱長(zhǎng)度

440mm

恒溫長(zhǎng)度

200mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相,220V,50Hz

額定功率

3KW

 

PE射頻電源

信號(hào)頻率

13.56 MHz±0.005%

功率輸出范圍

500W(功率可選)

射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

功率穩(wěn)定度

±0.1%

諧波分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

整機(jī)效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng) 

 

 

三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

100sccm,100sccm、200sccm;200sccm

(可根據(jù)用戶要求定制)

準(zhǔn)確度

±1.5%

線性

±0.5~1.5%

重復(fù)精度

±0.2%  

響應(yīng)時(shí)間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體 

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6 

 

低真空機(jī)組VAU-02

空氣相對(duì)濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽氣速率

10m³/h(抽速可選)

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連

電阻真空計(jì)參數(shù):

配用規(guī)管:

ZJ-52T電阻規(guī),

測(cè)量范圍:

10 5 ~10 -1 Pa,

測(cè)量路數(shù):

1路

控制范圍:

 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

控制方式:

繼電器觸點(diǎn)輸出,負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負(fù)載

電源:

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

功耗:

20W

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