我們的設備和工藝已通過充分驗證,正常運轉時間可達90%以上,一旦設備安裝完畢,可立即投入使用。PlasmaPro 100系列市場應用廣,包括但不限于: MEMS和傳感器、光電子、分立元器件和納米技術。它具有足夠的靈活性,可用于研究和開發(fā),通過打造質量滿足生產需求。
PlasmaPro 100 ALE 的特點:
- 準確的刻蝕深度控制;
- 光滑的刻蝕表面
- 低損傷工藝
- 數(shù)字化/循環(huán)式刻蝕工藝——刻蝕相當于ALD
- 高選擇比
- 能加工200mm的晶圓
- 高深寬比(HAR)刻蝕工藝
- 非常適于刻蝕納米級薄層

































宁化县|
元阳县|
河津市|
孟津县|
集贤县|
陇西县|
栾川县|
益阳市|
鸡西市|
淮南市|
湟源县|
常熟市|
洪湖市|
阿图什市|
璧山县|
大姚县|
聂拉木县|
西安市|
旬阳县|
萨迦县|
龙州县|
南木林县|
金川县|
玛纳斯县|
屏东市|
南宫市|
启东市|
鲜城|
洪洞县|
莱阳市|
秦皇岛市|
上饶市|
确山县|
定陶县|
呼伦贝尔市|
福建省|
扎兰屯市|
泸水县|
潍坊市|
丰原市|
福海县|