- TH510系列半導(dǎo)體器件C-V特性測試儀性能特點(diǎn)
- TH510系列半導(dǎo)體器件C-V特性測試儀產(chǎn)品綜述
- TH510系列半導(dǎo)體器件C-V特性測試儀應(yīng)用
- TH510系列半導(dǎo)體器件C-V特性測試儀技術(shù)參數(shù)
- TH510系列半導(dǎo)體器件C-V特性測試儀附件
性能特點(diǎn)
- 通道:2(可擴(kuò)展至6)
- 高偏置:VGS:0 - ±40V,VDS:0–200V,1500V,3000V
- 雙CPU架構(gòu),最短積分時(shí)間0.56ms(1800次/秒)
- 10.1英寸電容式觸摸屏,分辨率1280*800,Linux系統(tǒng)
- 點(diǎn)測、列表掃描、圖形掃描(選件)三種測試方式
- 四寄生參數(shù)(Ciss、Coss、Crss、Rg)同屏顯示
- 快速導(dǎo)通測試Cont
- 一體化設(shè)計(jì):LCR+高壓源+繼電器矩陣
- 快速充電,縮短電容充電時(shí)間,實(shí)現(xiàn)快速測試
- 自動(dòng)延時(shí)設(shè)置
- 10檔分選
產(chǎn)品綜述
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是同惠電子針對半導(dǎo)體材料及器件生產(chǎn)與研發(fā)的分析儀器。
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀創(chuàng)新性地采用了雙CPU架構(gòu)、Linux底層系統(tǒng)、10.1英寸電容式觸摸屏、中英文操作界面、內(nèi)置使用說明及幫助等新一代技術(shù),適用于生產(chǎn)線快速分選、自動(dòng)化集成測試及滿足實(shí)驗(yàn)室研發(fā)及分析。
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀測試頻率為10kHz-2MHz, VGS電壓可達(dá)±40V,足以滿足二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導(dǎo)體件CV特性測試分析。
得益于10.1英寸、分辨率達(dá)1280*800的電容式觸摸屏,TH510系列半導(dǎo)體器件C-V特性分析儀可將四個(gè)參數(shù)同屏顯示、所有設(shè)置、監(jiān)視、分選參數(shù)、狀態(tài)等可以在同一屏顯示,避免了頻繁的切換的操作。

功能特點(diǎn)
A.單點(diǎn)測試,10.1英寸大屏,四種寄生參數(shù)同屏顯示,讓細(xì)節(jié)一覽無遺
10.1英寸觸摸屏、1280*800分辨率,Linux系統(tǒng)、中英文操作界面,支持鍵盤、鼠標(biāo)、LAN接口,帶來了無以倫比的操作便捷性。
MOSFET最重要的四個(gè)寄生參數(shù):Ciss、Coss、Crss、Rg在同一個(gè)界面直接顯示測量結(jié)果,并將四個(gè)參數(shù)測試等效電路圖同時(shí)顯示,一目了然。
多至6個(gè)通道測量參數(shù)可快速調(diào)用,分選結(jié)果在同一界面直接顯示。

B.列表測試,靈活組合
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持最多6個(gè)通道、4個(gè)測量參數(shù)的測試及分析,列表掃描模式支持不同通道、不同參數(shù)、不同測量條件任意組合,并可設(shè)置極限范圍,并顯示測量結(jié)果 。

C.曲線掃描功能(選件)
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析,可以對數(shù)、線性兩種方式實(shí)現(xiàn)曲線掃描,可同時(shí)顯示多條曲線:同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數(shù)多條曲線 。

D.簡單快捷設(shè)置

E.10檔分選及可編程HANDLER接口
儀器提供了10檔分選,為客戶產(chǎn)品質(zhì)量分級(jí)提供了可能,分選結(jié)果直接輸出至HANDLER接口。
在與自動(dòng)化設(shè)備連接時(shí),怎么配置HANDLER接口輸出,一直是自動(dòng)化客戶的難題,TH510系列將HANDLER接口腳位、輸入輸出方式、對應(yīng)信號(hào)、應(yīng)答方式等可視化,讓自動(dòng)化連接更簡單。

F.支持定制化,智能固件升級(jí)方式
同惠儀器對于客戶而言是開放的,儀器所有接口、指令集均為開放設(shè)計(jì),客戶可自行編程集成或進(jìn)行功能定制,定制功能若無硬件更改,可直接通過固件升級(jí)方式更新。
儀器本身功能*、BUG解決、功能升級(jí)等,都可以通過升級(jí)固件(Firmware)來進(jìn)行更新,而無需返廠進(jìn)行。
固件升級(jí)非常智能,可以通過系統(tǒng)設(shè)置界面或者文件管理界面進(jìn)行,智能搜索儀器內(nèi)存、外接優(yōu)盤甚至是局域網(wǎng)內(nèi)升級(jí)包,并自動(dòng)進(jìn)行升級(jí)

G.半導(dǎo)體元件寄生電容知識(shí)
在高頻電路中,半導(dǎo)體器件的寄生電容往往會(huì)影響半導(dǎo)體的動(dòng)態(tài)特性,所以在設(shè)計(jì)半導(dǎo)體元件時(shí)需要考慮下列因數(shù)在高頻電路設(shè)計(jì)中往往需要考慮二極管結(jié)電容帶來的影響;MOS管的寄生電容會(huì)影響管子的動(dòng)作時(shí)間、驅(qū)動(dòng)能力和開關(guān)損耗等多方面特性;寄生電容的電壓依賴性在電路設(shè)計(jì)中也是至關(guān)重要,以MOSFET為例。

應(yīng)用
- 半導(dǎo)體元件/功率元件
二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析 - 半導(dǎo)體材料
晶圓、C-V特性分析 - 液晶材料
彈性常數(shù)分析
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品型號(hào) | TH511 | TH512 | TH513 | ||
| 通道數(shù) | 2(可選配4/6通道) | 2 | |||
| 顯示 | 顯示器 | 10.1英寸(對角線)電容觸摸屏 | |||
| 比例 | 16:9 | ||||
| 分辨率 | 1280×RGB×800 | ||||
| 測量參數(shù) | CISS、COSS、CRSS、Rg,四參數(shù)任意選擇 | ||||
| 測試頻率 | 范圍 | 10kHz-2MHz | |||
| 精度 | 0.01% | ||||
| 分辨率 | 10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz | ||||
| 100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz | |||||
| 1Hz 100.000kHz-999.999kHz | |||||
| 10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz | |||||
| 測試電平 | 電壓范圍 | 5mVrms-2Vrms | |||
| 準(zhǔn)確度 | ±(10%×設(shè)定值+2mV) | ||||
| 分辨率 | 1mVrms 5mVrms-1Vrms | ||||
| 10mVrms 1Vrms-2Vrms | |||||
| VGS電壓 | 范圍 | 0 - ±40V | |||
| 準(zhǔn)確度 | 1%×設(shè)定電壓+8mV | ||||
| 分辨率 | 1mV 0V - ±10V | ||||
| 10mV ±10V -±40V | |||||
| VDS電壓 | 范圍 | 0 - 200V | 0 - 1500V | 0 - 3000V | |
| 準(zhǔn)確度 | 1%×設(shè)定電壓+100mV | ||||
| 輸出阻抗 | 100Ω,±2%@1kHz | ||||
| 數(shù)學(xué)運(yùn)算 | 與標(biāo)稱值的偏差Δ,與標(biāo)稱值的百分比偏差Δ% | ||||
| 校準(zhǔn)功能 | 開路OPEN、短路SHORT、負(fù)載LOAD | ||||
| 測量平均 | 1-255次 | ||||
| AD轉(zhuǎn)換時(shí)間(ms/次) | 快速+:0.56ms(>5kHz) 快速:3.3ms 中速:90ms 慢速:220ms | ||||
| 準(zhǔn)確度 | 0.1%(具體參考說明書) | ||||
| CISS、COSS、CRSS | 0.00001pF - 9.99999F | ||||
| Rg | 0.001mΩ - 99.9999MΩ | ||||
| Δ% | ±(0.000% - 999.9%) | ||||
| 多功能參數(shù)列表掃描 | 點(diǎn)數(shù) | 20點(diǎn),每個(gè)點(diǎn)可設(shè)置平均數(shù),每個(gè)點(diǎn)可單獨(dú)分選 | |||
| 參數(shù) | 測試頻率、Vg、Vd、通道 | ||||
| 觸發(fā)模式 | 順序SEQ:當(dāng)一次觸發(fā)后,在所有掃描點(diǎn)測量,/EOM/INDEX只輸出一次 | ||||
| 步進(jìn)STEP:每次觸發(fā)執(zhí)行一個(gè)掃描點(diǎn)測量,每點(diǎn)均輸出/EOM/INDEX,但列表掃描比較器結(jié)果只在最后的/EOM才輸出 | |||||
附件
標(biāo)配附件




































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