一．產(chǎn)品特點

• 儀器管路經(jīng)鈍化處理，零死體積管路設(shè)計，等特殊工藝保證了系統(tǒng)的惰性，可靠性更高，使用壽命更長
• 進樣預(yù)處理系統(tǒng)和切換閥均采用帶吹掃保護氣路的進口自動閥，可防止空氣混入、提高系統(tǒng)的密閉性
• 配置氣體分離專用微填充柱和高效毛細管柱，配合分離預(yù)切再分離技術(shù)，實現(xiàn)樣品更高分離度
• 采用了*的10/100M自適應(yīng)以太網(wǎng)接口，實現(xiàn)全網(wǎng)絡(luò)反控，工作站界面簡單，數(shù)據(jù)處理功能*。
• 采用成熟的多閥多柱，中心切割和反吹技術(shù)，的設(shè)計工藝，穩(wěn)定可靠的高純氣體分析色譜技術(shù)解決方案

氦離子檢測器

二．技術(shù)參數(shù)

◆溫控系統(tǒng)

柱箱溫度范圍：室溫+5℃～450℃

溫度設(shè)定精度：0.01℃

溫控數(shù)量：8路獨立控溫系統(tǒng)

程序升溫速度：0.1～40℃/min

智能后開門：進出風(fēng)量無級可調(diào)

降溫速度：從350℃降至50℃＜7min

程序升溫階數(shù)：16階（可擴展）

最長一次運行時間：999.99min

◆進樣系統(tǒng)

控制方式：壓力/流量控制

流量：氣體流量為1000SCCM

靈敏度：0.01SCCM

輸出偏移量（精度）：±5%

分流比：5000:1

電磁閥：高速切換電磁閥壽命長(10mS，100萬次)

進樣閥：可搭載多個進口自動控制閥，可自動序列運行

◆檢測器及純化器系統(tǒng)

檢測氣體類型：H2、Ar、O2、N2、CH4、CO、CO2等

放電模式：脈沖放電

基線噪聲：≤0.05mv

基線漂移：≤0.2mv/30min

檢測限：10ppb（甲烷）

重復(fù)性：RSD≤3%

可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe等

操作壓力：1000Psi

去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3等

殘留濃度：≤10ppb

檢測指標：

三．適用標準：
GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》      GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》
GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》      GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》
GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》      GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 氨》     

GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》  GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》
GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 》  GB/T 14603-2009《電子工業(yè)用氣體 》   

GB/T 28125.1-2011《空分工藝中危險物質(zhì)的測定》
 

四．典型譜圖：