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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地天津市
  • 更新時間2026-07-14
  • 廠商性質其他
  • 所在地區(qū)天津市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量70
  • 人氣值2128
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VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀,基片尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式
VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 產(chǎn)品詳情

VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀,基片尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材 和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉樣品臺,可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,鋁,銅, 它可以與真空泵,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.

技術參數(shù)

輸入功率

  • 110V / 220V 通用
  • < 2000W (含真空泵)

輸出功率

  • 1600VDC
  • 電流50mA

樣品室

石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

加熱樣品臺

  • 一個外徑50 mm 的樣品臺, 可以移動三個位置
  • 基片可以放在樣品臺上. 加熱溫度 500°C
  • PID控溫方式和觸摸屏面板,控溫精度+/-1°C

控制面板

  • 控制面板為PLC6" 觸摸屏
  • 一個控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度 , 電流 , 靶材位置 基片加熱溫度

可選

  • KF25 真空接口、卡箍,和600mm長不銹鋼波紋管
  • 120L/M旋片式真空泵(包含在儀器內)
  • Vapor trap eliminates the oil mist
  • 不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接
  • 高純度金箔靶
  • 需要一個帶壓力調節(jié)器的氬氣瓶 (這個我們不提供)

進氣口

一個針閥安裝進氣口,以實現(xiàn)更好的等離子涂層



靶材

標配靶材分別有

  • 金,銀,銅 靶材:
  • 尺寸: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
  • 可選靶材點擊鏈接、
    Pt , Ag target , Zinc tarhet

外形尺寸

  • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
  • 凈重:50KG

質保期

一年質保期,相關耗材除外,終身維護。

質量認證

Certified

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