提供超低微小流量檢測

提供超低微小流量控制

可精準檢測低沸點和高粘度液液體

可精準控制低沸點和高粘度液液體

抗壓性：10MPa

抗壓性：10MPa

超潔凈

超潔凈

型 號

LV-F20 (PO/MO)

LV-F30 (PO/MO)

LV-F40 (PO/MO)

LV-F50 (PO/MO)

LV-F60 (PO/MO)

全標度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

檢測控制
范圍

5?99% F.S.

對象液體
種類*1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體
粘度*2

低于 0.01 Pa·s (10cp)

精度*3

±1% F.S.

直線性*3

±0.5% F.S.

重復性*3

±0.5% F.S.

響應精度

3秒以內(T98)

2秒以內(T98)

使用環(huán)境
溫度*4

5?50℃(15?45℃精度的確保)

溫度影響
Span

±0.1%F.S./℃

工作差
壓值*5

0.05?0.3MPa

耐 壓

1MPa

壓力損失

ー

流量設定
信號

模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出
信號

模擬：0?5 VDC(*小負荷電阻2kΩ)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

驅動電源

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏
規(guī) 格

PO類型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO類型：5×10-12Pa?m3/s (He)

接液部材質

PO類型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA　MO類型：SUS316L，Ni

標準接頭

1/16”，1/8”卡套；
1/8”VCR
1/8”VCR
1/8”VCR

1/8”SWL類型，1/8”VCR類型

1/4”SWL類型1/4”VCR類型

型 號

LF-F20M-A

LF-F30M-A

LF-F40M-A

LF-F50M-A

LF-F60M-A

全標度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

檢測控制范圍

5?99% F.S.

對象液體種類*1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外

液體粘度*2

不高于 0.1 Pa·s (100cp)

精度*3

±1% F.S.

直線性*3

±0.5% F.S.

重復性*3

±0.5% F.S.

響應精度

3秒以內(T98)

2秒以內(T98)

使用環(huán)境溫度*4

5?50℃(15?45℃精度的確保)

溫度影響Span

±0.1%F.S./℃

工作差壓值值*5

不高于5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo控制閥)

耐壓

10MPa (視為流量計)

壓力損失

不高于 500Pa

流量設定信號

模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出信號

模擬：0?5 VDC ；數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

驅動電源

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏規(guī)格

5×10-12Pa·m3/s (He)

接液部材質

SUS316L, Ni

標準接頭

1/16”，1/8”SWL類型，1/8”VCR類型

1/8”SWL類型，1/8”VCR類型

1/4”SWL類型1/4”VCR類型