JSM-7610FPlus,用于納米科學(xué)的肖特基場發(fā)射掃描電子顯微鏡, 是一款采用半浸沒式物鏡、擁有超高分辨率的場發(fā)射掃描電子顯微鏡,能觀察微細結(jié)構(gòu)和進行微區(qū)元素分析。

技術(shù)指標:




特點
半浸沒式物鏡
超高空間分辨率(1 kV 1.0 nm、15 kV 0.8 nm)
利用新一代r-過濾器選擇能量
自由選擇二次電子和背散射電子
利用LABE 檢測器獲取低角度背散射電子像
選擇通道襯度和來自樣品表面的信息
浸沒式肖特基電子槍
提供分析時需要的大電流(200 nA 15 kV),壽命長(發(fā)射體保證3 年)
豐富的附件
可以安裝EDS、WDS、STEM、CL 等多種附件
半浸沒式物鏡的示意圖
半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強磁場,因而可以獲得超高分辨率。

超高分辨率觀察實例
柔和電子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式
柔和電子束模式(GB 模式)通過給樣品施加負電壓,從而使電子束在即將撞擊樣品之前降低著陸電壓,因此可以在低加速電壓下( 100 V)進行高分辨觀察。
由于電子束在樣品中散射區(qū)域減小,就會容易地觀察樣品淺表面的精細結(jié)構(gòu),能減少對熱敏樣品的損傷,可以直接觀察非導(dǎo)電性樣品。
JSM-7610FPlus 在 GB 模式下(1 kV)的分辨率為 1.0 nm。

GB 模式的效果
GB 模式在低電壓下提高分辨率

增強了的低加速電壓下的分辨率




































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