配置方式

立式、臥式配置

平面總成，球面總成

靜態(tài)測量，相位移調(diào)制測量

附件

標(biāo)準(zhǔn)平面和球面參照鏡

與ZYGOTM參照鏡相容

標(biāo)準(zhǔn)衰鏡

干涉儀支撐/調(diào)整用四腳座

水平五軸調(diào)整座

IntelliWave TM分析

Windows XP系統(tǒng) 干涉條紋靜態(tài)與相位移調(diào)制分析

完整的分析工具，包括統(tǒng)計(jì)資料、像差

繞射分析、影像加工、以及幾何影像轉(zhuǎn)換

干涉圖轉(zhuǎn)換成光學(xué)（OPD）或表面地圖（surface map）

自動(dòng)反復(fù)測量或自動(dòng)化分析功能

相互連接Lab VIEW 、Research Systems IDL 、Math Work、Matlab和Microsoft Excel軟件

1 蜂谷值（PV ，Peak-to-Valley） 是取得長度上，測量高度點(diǎn)與點(diǎn)間的距離

2 均方根值（RMS，Root-Mean-Square）是取樣長度上，距離高度中心線的均方根偏差值。

3 三平面檢定方（3-Flat Test ）最使用三個(gè)平面參照鏡相互檢測的測量方式。

4 重復(fù)性（Repeatability）的定義：對(duì)相同的組件進(jìn)行100次量測，而每組量數(shù)據(jù)是由20個(gè)數(shù)據(jù)平均后取得，100組測

數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析，定義重復(fù)性即是一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)差值

激光光源
波長/ 功率	He-Ne ,632.8nm , 0.7mw
測量光束直徑	15英寸（38mm）
偏振性	圓偏振動(dòng)（Circular Polarization）
相干長度	＞100公尺
控制方式
觀察調(diào)整	4On/off 開關(guān)
變焦	旋轉(zhuǎn)度盤
對(duì)焦調(diào)整	旋轉(zhuǎn)鈕
光強(qiáng)調(diào)整	旋轉(zhuǎn)鈕
模式切換	手動(dòng)切換
光 學(xué) 部 分
變焦范圍	1X—6X
對(duì)準(zhǔn)調(diào)整	二點(diǎn)調(diào)整
觀察調(diào)整角	±1.8度
預(yù)熱時(shí)間	＜ 30分鐘
視頻規(guī)格
攝像機(jī)	RS170， 640X480像素
顯示器	計(jì)算機(jī)含LCD屏幕或視頻監(jiān)視器
電氣部份
電 源	110/240 Volts ,50/60Hz (50 watts)
機(jī)械部份
尺寸	120*120*250mm
重量	6 kg
測量性能（應(yīng)用 IntelliWAare TM軟件量結(jié)果）
系統(tǒng)準(zhǔn)確度（三平面檢定法）（3）	λ/100 , 峰谷值（1）
峰谷值重復(fù)性（4）(PV Repeatability）	λ/3 00 , 峰谷值（1）
均方值重復(fù)性能（2）（4）(RMS Repeatability)	λ/2,000
干涉條紋解像度(Fringe Resolution ）	180條