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W2800/2800CT/2800/3200CT TURBOVAC MAG digital磁懸浮復合分子泵

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地無錫市
  • 更新時間2023-09-20
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 所在地區(qū)無錫市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量182
  • 人氣值4786
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2、德國萊寶Leybold真空產(chǎn)品的應用選型、優(yōu)化、銷售代理服務;

3、德國萊寶Leybold真空產(chǎn)品的備件、真空泵濾芯等耗材的*;

4、真空泵的售后保養(yǎng)、維修服務;

致力于為工業(yè)用戶提供安全無憂的真空解決方案,安博元科技全體員工誠信拼搏,并持之以恒地提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品及服務。

 

安博元科技無錫有限公司

  

 

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TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CTW 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)典型應用- 半導體工業(yè),諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝- 進樣室,轉移室- 粒子加速器- 科研- 鍍膜系統(tǒng)技術特點- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控- 噪聲和振動低- 任意方向安裝- *的轉子設計,實現(xiàn)高......
W2800/2800CT/2800/3200CT TURBOVAC MAG digital磁懸浮復合分子泵 產(chǎn)品詳情

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT

W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)

典型應用

- 半導體工業(yè),諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝

- 進樣室,轉移室

- 粒子加速器

- 科研

- 鍍膜系統(tǒng)


技術特點

- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)

- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控

- 噪聲和振動低

- 任意方向安裝

- *的轉子設計,實現(xiàn)高抽速和高前級耐壓

- 智能電源控制系統(tǒng)

- CT版集成溫度管理系統(tǒng)(TMS)

- C版耐腐蝕


客戶得益

- 免維護

- 所有工藝氣體都有高氣載量

- 極限低,抽速高

- 前級耐壓高

- 同類中重量較輕,尺寸較小

- 耐粉塵

- 溫控達 90 °C (194 °F),避免沉積物

(CT版)

- 高耐腐蝕性-CT版

- 氣體吹掃系統(tǒng)


更多信息請聯(lián)系萊寶:安博元科技 info


技術特點

- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)

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- C版耐腐蝕


客戶得益

- 免維護

- 所有工藝氣體都有高氣載量

- 極限低,抽速高

- 前級耐壓高

- 同類中重量輕,尺寸小

- 耐粉塵

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(CT版)

- 高耐腐蝕性-CT版

- 氣體吹掃系統(tǒng)

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典型應用

- 半導體工業(yè),諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝

- 進樣室,轉移室

- 粒子加速器

- 科研

- 鍍膜系統(tǒng)


更多信息請聯(lián)系萊寶:安博元科技 info



技術參數(shù)


TURBOVAC MAG



W 2800 C

W 2800 CT W 2800

W 3200 CT

進氣口

DN

250 ISO-F


250 ISO-F

250 CF


320 ISO-F

PNEUROP的抽速








氮氣

I x s-1

2650


2650

2650


3200

氬氣

I x s-1

2450


2450

2450


3000

氦氣

I x s-1

2650


2650

2650


3000

氫氣

I x s-1

2100


2100

2100


2250

額定轉速

min-1

28 800


28 800

28 800


28 800

壓縮比








氮氣


1 x 108


1 x 108

1 x 109


1 x 108

極限壓強,根據(jù) DIN 28 400

mbar

< 10-8


< 10-8

< 1 x 10-10


< 10-8


(Torr)

(< 0 75 x 10-8)


(< 0 75 x 10-8)

(< 0 75 x 10-10)


(< 0 75 x 10-8)

前級耐壓(對氮氣)對流冷卻時 水冷卻時

mbar (Torr)mbar (Torr)

– 2 0 (1 5)


– 2 0 (1 5)

0 3 (0 23) 3 0 (2 3)


– 2 0 (1 5)

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TRIVAC D 65 BCS

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啟動時間

min

< 10


< 10

< 10


< 10

出氣口外形尺寸

DN

40 ISO-KF


40 ISO-KF

40 ISO-KF


40 ISO-KF

吹掃和破空口


1/4" VCR


1/4" VCR

DN 10/16


1/4" VCR

冷卻水接口

Swagelok tube

1/4"


1/4"

1/4"


1/4"

重量(近似)

kg (lbs)

64 (141 3)


64 (141 3)

75 (165 6)


65 (143 5)

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訂貨信息11.jpg

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