1905年，法國(guó)工程師 Leon Creux 發(fā)明了渦旋壓縮機(jī)，而今渦旋泵被用作無油

真空泵。每臺(tái)渦旋泵都由兩個(gè)阿基米德螺旋件構(gòu)成，這兩個(gè)螺旋件彼此相對(duì)并

錯(cuò)開180°，因此形成了若干個(gè)大小不一的月牙形凹槽。采用偏心驅(qū)動(dòng)的設(shè)

計(jì)，運(yùn)動(dòng)螺旋件相對(duì)于固定螺旋件是按確定軌道旋轉(zhuǎn)，從而縮小了凹槽容積并

將氣體從外朝內(nèi)擠壓，實(shí)現(xiàn)抽氣功能。保持精確的制造公差并選擇合適材料對(duì)

于渦旋泵質(zhì)量十分重要。

客戶得益

- 無油

- 有效抽速高

- 極限壓強(qiáng)低

- 噪音低

- 振動(dòng)低

- 容許入口為大氣壓

- 重量輕

- 風(fēng)冷

- 功率消耗低

- 集成運(yùn)行時(shí)間計(jì)時(shí)器

典型應(yīng)用

- 電子束焊接

- 激光器

- 檢漏系統(tǒng)

- 加速器/同步加速器

- 表面分析儀器

- 掃描電子顯微鏡

- 進(jìn)樣室

- 光譜儀

- 照明

- 渦輪分子泵系統(tǒng)前級(jí)真空泵

維護(hù)周期

為了使泵性能保持不變，在運(yùn)行了一定的小時(shí)數(shù)后，需要進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)保養(yǎng)。

為此，我們提供了完整的保養(yǎng)套件-

運(yùn)行了8000小時(shí)或遲在運(yùn)行了12個(gè)月后使用的小保養(yǎng)套件-

運(yùn)行了16000小時(shí)或遲在運(yùn)行了24個(gè)月后使用的大保養(yǎng)套件