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德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀

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  • 更新時間2023-09-27
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德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀 德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀是集面外振動、面內(nèi)振動、及表面形貌測量功能于一體的光學測量工作站。該款測振儀可實時測量,無需數(shù)據(jù)后處理。 ......
德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀 產(chǎn)品詳情
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德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀是集面外振動、面內(nèi)振動、及表面形貌測量功能于一體的光學測量工作站。該款測振儀可實時測量,無需數(shù)據(jù)后處理。


德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀產(chǎn)品簡介:

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀是集面外振動、面內(nèi)振動、及表面形貌測量功能于一體的光學測量工作站。系統(tǒng)具有高靈活性和精度,以滿足顯微結構未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供準確的三維動態(tài)和靜態(tài)響應數(shù)據(jù),在降低開發(fā)和制造成本的同時提高產(chǎn)品性能,從而縮短設計周期,簡化故障處理,提高產(chǎn)品產(chǎn)量。

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀1.png


德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀產(chǎn)品特點:

集多功能于一體的光學測量工作站

實時測量,無需數(shù)據(jù)后處理

的亞pm位移分辨率

測量速度快,振型可視化顯示

操作界面直觀友好

全自動化測量,易于集成至商用探針臺上


德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀典型應用:

微型結構的面外振動,測量單點振動或者兩點間的相對振動:

如:梳齒驅(qū)動器、射頻MEMS開關、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等

微型結構的面內(nèi)振動:

如:梳齒驅(qū)動器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動

微型結構的表面形貌:

如:梳齒驅(qū)動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌




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儀器參數(shù)Technical data
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德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀技術參數(shù):

MSA-600系統(tǒng)配置

基本配置

面外振動*大頻率為2.5 MHz

選配件

頻率擴展

面外振動*大頻率達25 MHz

差分測量

面外振動可進行差分測量

面內(nèi)運動分析

面內(nèi)振動測量

形貌測量

表面形貌測量

面外振動測量


測量原理

激光多普勒原理

型號

MSA-600-M (標準)

MSA-600-V (帶寬擴展)

*大頻率

2.5 MHz

25 MHz

檔位數(shù)量

13 個速度檔位

13 個速度檔位

*大振動速度

0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關

0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關

速度分辨率

均值1

0.005 (μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz,

與檔位和頻率有關

0.005 (μm/s)/√Hz … 2 (μm/s)/√Hz,

與檔位和頻率有關

位移分辨率

50 fm/√Hz

50 fm/√Hz

面內(nèi)振動測量


測量原理

頻閃法

型號

MSA-600 帶面內(nèi)振動測量模塊

帶寬

1 Hz … 2.5 MHz

*大速度

> 0.1 m/s … 10 m/s(與鏡頭放大倍數(shù)有關)

鏡頭放大倍數(shù)2

1x … 100x

位移分辨率3

5 nm

時間分辨率

100 ns (頻閃曝光時間); 頻閃*大間隔時間±40 ns

系統(tǒng)輸出

位移量、波特圖、階躍響應、衰減曲線、軌跡圖等

1、均值是根據(jù)所在檔位的*大頻率fmax計算而來。

2、 鏡頭的具體技術參數(shù)請見后附表格。

3、隔振臺上每個頻率512次頻閃次數(shù)的本底噪聲。

形貌測量

型號

MSA-600 帶形貌測量模塊

垂直測量范圍

250 μm

標稱樣本增量

80 nm

評估程序4

光滑表面

粗糙表面

分辨率(RMS) 5

45 pm

1.2 nm

單次測量分辨率(RMS)

300 pm

14 nm

可重復精度6

500 pm

20 nm

評估平整度

偏差7

< 5 nm

< 50 nm

可溯源校準標準(PTB Type A1 (ISO 5436-1)

可重復精度8

0.07 %

擴展不確定度9

0.35 %

4、“光滑表面”:自相關相位評估?!按植诒砻妗弊韵嚓P譜包絡線評估

5 、在阻尼振動溫控條件下,對鍍銀、平行對齊平面鏡的50次幅值的均方根值。

6 、稍傾斜平行板(λ/ 20)100次平整度測量結果的標準偏差

7、 平面度的平均值(遵循ISO 1101)

8 、30次階躍高度測量的均方根偏差,校準的階躍高度標稱為50μm。

9、 在重復條件下,將30次連續(xù)測量值的標準不確定度與標稱值偏差相加。組合標準不確定度是標稱不確定度和測量結果的標準偏差的二次均方根值。

光學部分技術參數(shù)

MSA-I-600 光學頭

激光波長

532 nm

激光安全等級

class 3R (可見光輸出小于5 mW)

照明光源波長

470 nm

照明光源

安全等級

class 2 LED 燈(可見光輸出小于20 mW)

攝像機

全場逐行掃描

攝像機分辨率

1732 x 1200像素

攝像機幀速

*大 56 fps




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