細節(jié)描述

　　1)法蘭

　　冷卻方式：內(nèi)水冷循環(huán)鎧裝法蘭(配合合金鋼耐壓管)

　　密封方式：貝意克卡箍法蘭

　　2)電阻絲長度，即加熱區(qū)長度

　　3)恒溫區(qū)長度

　　4)滑軌長度，即可移動范圍

　　5)面板

　　選配方案推薦

　　1、泵體：

　　如果真空度要求不高，1pa左右，可選配機械泵，如國產(chǎn)鮑斯的BSV-10，進口愛德華的RV8.

　　如果真空度要求較高，10-4pa，可選配分子泵系統(tǒng)，包括前級機械泵和后級分子泵。分子泵有國產(chǎn)中科科儀的FF110，進口愛德華的nEXT85。

　　2、氣體流量

　　如果只需要粗略控制進氣量，可選配浮子流量計，量程是范圍內(nèi)的ml/min，如10-100ml/min，量程可選。

　　如果需要精確控制進氣量，可選配質(zhì)量流量計，量程一般是sccm，如200sccm，量程可選。