RF射頻電源主要技術(shù)參數(shù):
| 功率輸出范圍 | 0-500W |
| 反射功率 | 200W |
| 工作頻率 | 射頻:13.56MHZ±0.005% |
| 功率穩(wěn)定度 | +/-0.1% |
| 諧波分量 | ≤-50dbc |
| 射頻區(qū)域?qū)挾?/p> | 0-600mm 可調(diào) |
| 匹配方式 | 自動 |
| 冷卻方式 | 分冷 |
| 噪聲 | <50dB |
| 射頻接口 | 50Ω N-type |
| 輸入電源 | 208-240V 50/60HZ |




































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