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●形式:箱式一體機,立式前開門,蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式,沉積腔采用SUS304真空氬弧焊成型不,一體機系統(tǒng),可連接單排雙工位手套箱,中間用DN150超高真空插板閥隔斷。
●真空系統(tǒng):極限真空5X10-4Pa,主泵為復合分子泵,抽速600L/S,前級泵配置直聯(lián)泵,主閥匹配。
●真空測量:配數(shù)字復合真空計,均采用防爆金屬測量規(guī)。
●工件架系統(tǒng):客戶需求定制,可放入4英寸掩模版,轉(zhuǎn)速3~30rpm變頻可調(diào)。
●烘烤系統(tǒng):匹配數(shù)字功率控制器和PID控制模塊,*高烘烤溫度300℃。
●電阻蒸發(fā)源:水冷電極引入,2套電阻蒸發(fā)源,蒸發(fā)功率5KW,配置8KWE型電子槍1套,膜厚測試系統(tǒng)。匹配石英膜厚儀,可與擋板聯(lián)動。
●控制系統(tǒng):成熟可靠的真空鍍膜控制系統(tǒng),工業(yè)級10英寸觸摸屏和西門子PLC,能夠?qū)崿F(xiàn)抽真空、工轉(zhuǎn)烘烤、自動冷卻放氣等鍍膜生產(chǎn)流程;支持半自動和手動等鍍膜操作方式。水、電、氣路有故障自動報警和保護系統(tǒng),采用聲光報警。
●輔助系統(tǒng):配置冷水機1臺,空壓機1臺。
●說明:本系統(tǒng)含單排雙工位手套箱1臺,單邊4個手套,有效長度1.8米。



































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