特點:
AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測試環(huán)境,**限度減小樣品表面吸附水對測試的影響,實現(xiàn)精確的物理特性測量。 真空環(huán)境下可以實現(xiàn)更大范圍的溫度控制。
●大氣中 ●液體中 ●真空中 ●特殊氣氛(流量控制)
●溫度控制 加熱?冷卻(-120~300℃) 高溫(室溫~800℃)
●濕度控制(0~80%)

通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』,樣品和掃描器更換更為方便的同時,免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調(diào)整。 也省去測試模式切換時的支架更換環(huán)節(jié)。

采用了『Swing Cancel功能』,減輕了樣品的浮動,降低了漂移。提高了納米分析性能,提升了可信度。

真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響,因而實現(xiàn)高分辨高靈敏的電學性能分析。




































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