六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu),是θx, θy, θz, X, Y, Z六軸運(yùn)動(dòng)工作臺(tái),通過(guò)六支壓電促動(dòng)器的協(xié)調(diào)伸縮實(shí)現(xiàn)空間內(nèi)六個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng),臺(tái)體結(jié)構(gòu)緊湊,三種規(guī)格型號(hào)可供選擇,閉環(huán)型號(hào)定位精度高,是六自由度微操作、微電子精密加工等應(yīng)用。H60.XYZTR5S/K是H60系列中直線與角度位移一款。
產(chǎn)品特點(diǎn)
六維θx, θy, θz, X, Y, Z軸運(yùn)動(dòng)
小耦合
閉環(huán)定位精度高
誤差無(wú)積累











































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