螺桿式無油機(jī)械真空泵又稱為干式螺桿真空泵,是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿于右螺桿作告訴轉(zhuǎn)動,利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間,形成多個級,氣體在相等的各個槽內(nèi)(柱形等螺距)進(jìn)行傳輸運動。兩螺桿經(jīng)今夕動平衡,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿于螺桿,螺桿于泵體之間都有一定的間隙,泵工作時相互之間無摩擦,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,且工作腔內(nèi)無潤滑油,因此螺桿真空泵適用于半導(dǎo)體,電子以及要求潔凈真空泵的場合,可以替代油封式機(jī)械泵,水封式機(jī)械泵成為新一代的主要真空獲得設(shè)備。
特點:
1,結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小。
2,泵腔內(nèi)無油,對真空系統(tǒng)無污染,提高產(chǎn)品質(zhì)量。
3,泵腔內(nèi)無油,解決潤滑油乳化及頻繁換油,頻繁維護(hù)和保養(yǎng)等問題,節(jié)約使用成本。
4,無廢水,費油的排放,對環(huán)境無污染。
5,能抽除大量水蒸氣和少量粉塵的氣體,增加附件后能抽除易燃易爆及放射性等氣體。
6,極限真空較高,可替代大部分羅茨水環(huán),羅茨往復(fù)式真空機(jī)組。
7,泵腔及螺桿表面可進(jìn)行鍍鎳以及PTTE涂層處理,抽取大量水蒸氣及多種腐蝕型氣體。
性能參數(shù):
特性曲線:




































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