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SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀

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  • 型號(hào)
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  • 所在地上海市
  • 更新時(shí)間2024-02-17
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量165
  • 人氣值2768
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奧法美嘉(Alpharmaca)科技有限公司于2010年在上海成立,立足于醫(yī)藥行業(yè),耕耘于納米科學(xué)材料,化工,半導(dǎo)體,環(huán)境科學(xué),汽車,過濾,涂料,墨水,油品等行業(yè),以專業(yè)的納米微米檢測(cè)技術(shù),“致力粒度分析,專注客戶體驗(yàn)"。這已經(jīng)成為奧法美嘉團(tuán)隊(duì)的信條。借助于20多年的行業(yè)積累和技術(shù)儲(chǔ)備,奧法美嘉將世界上處于技術(shù)前沿地位的美國PSS粒度儀公司的激光粒度儀引入到中國市場(chǎng),秉承著“傳授粒度真知"“普及粒度知識(shí)"的理念,伴隨著納米知識(shí)的普及,伴隨著中國經(jīng)濟(jì)向制造業(yè)的轉(zhuǎn)型,經(jīng)過短短幾年,奧法美嘉科技有限公司作為美國PSS粒度儀公司在中國的代表,從COE的建立運(yùn)營,到如今覆蓋全中國銷售網(wǎng)絡(luò)和售后服務(wù)網(wǎng)絡(luò),不僅用真誠的態(tài)度,而且用務(wù)實(shí)的專業(yè)知識(shí),獲得了廣大客戶的*好評(píng)。Particle Solutions srl(意大利PSI均質(zhì)機(jī)公司)位于意大利海濱工業(yè)城鎮(zhèn)拉齊奧地區(qū),毗鄰歷史悠久的古城羅馬,由從事粒度相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)杰出的歐洲科學(xué)家以及工程師所組成的團(tuán)隊(duì)發(fā)起創(chuàng)立。公司團(tuán)隊(duì)擁有25年粒度檢測(cè)知識(shí)積累,15年儀器工業(yè)設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn),15年高壓均質(zhì)技術(shù)經(jīng)驗(yàn)及應(yīng)用研究。通過深入發(fā)掘客戶需求和應(yīng)用難點(diǎn),PSI團(tuán)隊(duì)研發(fā)出了新型高壓微射流均質(zhì)機(jī),其穩(wěn)定可控的均質(zhì)壓力及高剪切力保證了工藝可線性放大且可保證大產(chǎn)量需求,低噪音的設(shè)計(jì)理念可大大減緩傳統(tǒng)工藝中的高噪音對(duì)于操作人員的不利影響,小巧緊湊的機(jī)身設(shè)計(jì)可以*適應(yīng)從實(shí)驗(yàn)室研發(fā)到中試及大生產(chǎn)的各種工作場(chǎng)景。自組建以來,團(tuán)隊(duì)累積了大量醫(yī)藥,生物,半導(dǎo)體,新材料等行業(yè)的相關(guān)應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)?,F(xiàn)奧法美嘉綜合PSS粒度儀和PSI均質(zhì)機(jī),為中國制造業(yè)提供納米技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)從生產(chǎn)研發(fā)設(shè)備到檢測(cè)儀器的整套解決方案。
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簡要描述:我們的 SemiChem Advanced Process Monitor(SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀)是集自動(dòng)取樣、分析和報(bào)告關(guān)鍵過程的定量化學(xué)濃度的化學(xué)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。全面的在線化學(xué)監(jiān)測(cè)可實(shí)時(shí)校正漿料成分,從而穩(wěn)定控制工藝生產(chǎn)條件。該系統(tǒng)可提供分類化學(xué)濃度數(shù)據(jù)。當(dāng)立即顯現(xiàn)時(shí),可以快速糾正可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生負(fù)面影響的變化,有助于滿足更高產(chǎn)品產(chǎn)量的要求。
SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀 產(chǎn)品詳情
詳情介紹

SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀

Entegris在設(shè)計(jì)和生產(chǎn)用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)機(jī)械平坦化(CMP)漿料和配方清潔化學(xué)品的高精度分析儀器的有豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的技術(shù)旨在確保復(fù)雜混合化學(xué)品的精確一致性,并在 CMP和配方清潔工藝中實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量。


我們的 SemiChem Advanced Process Monitor (SemiChem 在線濃度監(jiān)測(cè)儀)是集自動(dòng)取樣、分析和報(bào)告關(guān)鍵過程的定量化學(xué)濃度的化學(xué)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。全面的在線化學(xué)監(jiān)測(cè)可實(shí)時(shí)校正漿料成分,從而穩(wěn)定控制工藝生產(chǎn)條件。該系統(tǒng)可提供分類化學(xué)濃度數(shù)據(jù)。當(dāng)立即顯現(xiàn)時(shí),可以快速糾正可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生負(fù)面影響的變化,有助于滿足更高產(chǎn)品產(chǎn)量的要求。


應(yīng)用領(lǐng)域

在范圍內(nèi),我們安裝了近3000套SemiChem APM系統(tǒng),用于控制金屬 CMP 濃度。它是控制CMP過氧化物的可靠的中心工具,并被證明在微電子環(huán)境中的所有濕化學(xué)應(yīng)用中都具有較好的性能,包括:

·銅,鎢,阻擋層和金屬CMP

·制定清潔

·DSP+

·濕法蝕刻,氮化物蝕刻

·平底蝕刻,食人魚蝕刻

·高頻

·廢水


功能與特點(diǎn)


經(jīng)驗(yàn)證的標(biāo)準(zhǔn)電化學(xué)技術(shù)提供行業(yè)精確的監(jiān)控,以保證過程化學(xué)成分和完整性
提供化學(xué)濃度數(shù)據(jù),使?jié){料/化學(xué)分配系統(tǒng)能夠提供準(zhǔn)確的化學(xué)濃度
在線的,接近實(shí)時(shí)檢測(cè)的系統(tǒng) 檢測(cè)揮發(fā)性化學(xué)物質(zhì)的工藝偏差,防止產(chǎn)品質(zhì)量損壞
將實(shí)驗(yàn)室技術(shù)過渡到在線,實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確的在線控制
堅(jiān)固耐用的工業(yè)設(shè)計(jì)維持至少8500小時(shí)平均工作時(shí)間
可經(jīng)受嚴(yán)峻的工業(yè)環(huán)境




規(guī)格

分析方法電位測(cè)定法,標(biāo)準(zhǔn)加成法,光度測(cè)定法
電位測(cè)量的準(zhǔn)確性* 顯示值的±0.2%
標(biāo)準(zhǔn)添加的準(zhǔn)確性* 顯示值的±2.0%
電位測(cè)量精度* ±0.2%相對(duì)誤差
標(biāo)準(zhǔn)添加精度* ±2.0%相對(duì)誤差
測(cè)量時(shí)間>5分鐘/次(取決于應(yīng)用程序)
校準(zhǔn)間隔 啟動(dòng)時(shí)**
樣品消耗<5 mL/次
進(jìn)樣量0.05-5 mL(取決于應(yīng)用)
進(jìn)樣溫度93°C(200°F)
耗水量<1000 mL/分析
樣品進(jìn)樣/排樣<207 kPa(30 psi),0.5 L/min
1/4" OD擴(kuò)口接頭,1" FPT安全殼聯(lián)軸器
去離子水138至276 kPa(20至40 psi)
2.0升/分鐘
外徑 1/4" 擴(kuò)口接頭
CDA414-552 kPa(60-80 psi)
1/4" 外徑快速接頭
排水工藝:3/4“NPT重力排水管機(jī)柜:1/2“NPT重力
電源110/220 VAC,50/60 Hz,1/0.5 A現(xiàn)場(chǎng)可切換
廢氣外徑1 7/8" @ 17 CFM





























標(biāo)準(zhǔn)功能可選功能

·四個(gè)4-20 mA模擬輸出

·八個(gè)可編程繼電器

·以太網(wǎng)和RS232串行

·彩色觸摸屏

·單個(gè)測(cè)量單元

·綜合試劑儲(chǔ)存

·單個(gè)采樣點(diǎn)

·一個(gè)5 mL數(shù)字滴定管

·多傳感器輸入

·多個(gè)采樣點(diǎn)

·額外的5 mL數(shù)字滴定管

·附加傳感器

·安全聯(lián)鎖裝置

·試劑微量檢測(cè)















尺寸



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