六軸位移臺(tái)特色
行程范圍+/-150mm
角度行程:+/-20度
編碼器確保精度
六軸位移臺(tái)典型應(yīng)用
儀器科學(xué)與技術(shù)
航空航天
光學(xué)
計(jì)量
天文學(xué)
半導(dǎo)體等
六軸位移臺(tái)平臺(tái)參數(shù)
行程范圍Tx,Ty:+/-150mm
行程范圍:Tz: +/-100mm
行程范圍:Rx,Ry:+/-16度
行程范圍:Rz: +/-20度
分辨率Tx,Ty,Tz: 5um
分辨率Rx, Ry,Rz: 10urad
重復(fù)精度Tx,Ty,Tz: +/-34um
重復(fù)精度Rx,Ry,Rz:+/-10urad
速度Tx, Ty: 8mm/s
速度:Tz: 4mm/s
速度Rx Ry: 1度/秒
速度Rz : 2.5度/秒
負(fù)載: 200kg
工作溫度:0-50℃
位移平臺(tái): dia520mm
自身重量:82kg
線(xiàn)纜長(zhǎng)度:5m
供電要求:110-240VAC




































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