氣動(dòng)超高真空插板閥

CCQ型氣動(dòng)超高真空插板閥是通過電磁換向閥改變氣路方向，控制執(zhí)行氣缸驅(qū)動(dòng)閥板作上下運(yùn)動(dòng)，達(dá)到閥門的開啟或關(guān)閉。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。氣動(dòng)超高真空插板閥適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。氣動(dòng)超高真空插板閥帶反饋信號(hào)裝置。

氣動(dòng)超高真空插板閥系列閥門為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式，在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上合理，在外形上美觀，并具有動(dòng)作平穩(wěn)、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，能廣泛應(yīng)用于超高真空設(shè)備中。真空閥門是以壓縮空氣推動(dòng)氣缸為動(dòng)力，通過傳動(dòng)桿推（拉）動(dòng)連桿機(jī)構(gòu)，帶著驅(qū)動(dòng)體沿軸向運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)體通過擺桿或鋼珠與閥板連接，完成閥板開啟及關(guān)閉動(dòng)作。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。

氣動(dòng)超高真空插板閥特點(diǎn)

軸封為波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，無潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì)；
閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率小；
閥體采用加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)，體積小、重量輕，外形美觀；
采用雙導(dǎo)軌軸承滾輪機(jī)構(gòu)，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；閥板內(nèi)整體式結(jié)構(gòu)，支撐力均勻。

超高真空氣動(dòng)插板閥主要零件材料

閥體、閥板：不銹鋼
密封件：氟橡膠、波紋管(軸封)、丁腈橡膠

氣動(dòng)超高真空插板閥主要技術(shù)性能

適用范圍： 10⁵~1.3×10^-7 Pa
閥體和閥座漏率： ≤1.3×10^-7 Pa.L/S(DN≤200)；≤6.7×10^-7 Pa.L/S(DN≥250)
適用溫度： -30~+150℃
閥體烘烤溫度：打開時(shí)≤200℃；關(guān)閉時(shí)≤150℃
閥門開啟時(shí)閥板兩側(cè)的壓差：≤2.7×10³ Pa
閥門啟閉時(shí)間：DN 63~250 ≤6s；DN 320~400 ≤10s
氣源壓力： DN 63~200：0.4～0.7MPa；DN 250~400：0.5～0.7MPa
閥門位置指示：帶有啟閉位置指示開關(guān)（磁性開關(guān)）
安裝位置：任意

氣動(dòng)超高真空插板閥外形及連接尺寸(mm)