■概括

　　螺桿式無油機(jī)械真空泵又稱為干式螺桿真空泵，是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺杄與右螺杄作髙速轉(zhuǎn)動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間、形成多個(gè)級，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)(柱形等螺距)進(jìn)行傳輸運(yùn)動。兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿，螺杄與泵體之間都有一定的間隙，泵工作時(shí)相互之間無摩擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)、噪音低，且工作腔無需潤滑油，因此螺杄真空泵適用于半導(dǎo)體、電子以及要求潔凈真空的場合，可以代替油封式機(jī)械泵、水封式機(jī)械泵成為新一代的主要真空獲得設(shè)備。

　　■型號/性能/參數(shù)

　　■特點(diǎn)

　　1.結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。

　　2.泵腔內(nèi)無油，對真空系統(tǒng)無污染，提高產(chǎn)品質(zhì)量。

　　3.泵腔內(nèi)無油，解決潤滑油乳化及頻繁換油、頻繁維護(hù)和保養(yǎng)等問題，節(jié)約使用成本。

　　4.無廢水、廢油的排放，對環(huán)境無污染。

　　5.能抽除大量水蒸氣和少量粉塵的氣體。增加附件后，也能抽除易燃、易爆及放射性等氣體。

　　6.極限真空較高，可代替大部分羅茨水環(huán)以及羅茨往復(fù)式真空機(jī)組。

　　7.泵腔及螺桿表面可進(jìn)行鍵鎳以及PTFE涂層處理，可抽除大量水蒸氣及多種腐蝕性介質(zhì)。