Turbo-V 551 Navigator
采用 MacroTorr 拖動(dòng)技術(shù)的 Turbo-V 551 Navigator 渦輪分子泵能為一系列高真空應(yīng)用提供高壓縮比、高抽氣量和高出口壓力。 V 551 內(nèi)的軸承和性干式潤(rùn)滑劑消除了油的使用,實(shí)現(xiàn)了免維護(hù),并允許泵在任意角度安裝進(jìn)行操作。 安捷倫(前瓦里安)可提供配備 Navigator 泵機(jī)一體式控制器(集成了電子設(shè)備)或標(biāo)準(zhǔn)機(jī)架式控制器(用于簡(jiǎn)單安裝)的 V 551 泵。 Turbo-V 551 可單獨(dú)作為泵出售,也可以與控制器、進(jìn)氣口濾網(wǎng)和電源線一起作為機(jī)組套件出售。 還擁有專(zhuān)為掃描電子顯微鏡優(yōu)化的泵版本,能限度地減少振動(dòng)和磁場(chǎng)特征。
特性
- MacroTorr 牽引技術(shù)在緊湊經(jīng)濟(jì)的儀器中實(shí)現(xiàn)了更高的前級(jí)耐壓、更高的效率以及更小的前級(jí)泵
- 固體潤(rùn)滑劑極低的蒸汽壓保證了泵陶瓷軸承能保持潤(rùn)滑
- 泵可以在任意角度安裝和運(yùn)行
- 免維護(hù)、無(wú)油、無(wú)填充、無(wú)污染
- 精密的加熱設(shè)計(jì)減少了熱耗散和功耗
- Navigator 泵機(jī)一體式控制器能提供即刻抽空操作,或者選用機(jī)架式控制器以匹配您當(dāng)前的系統(tǒng)體系
- 可選擇在您的 PC 上運(yùn)行 T-plus 軟件以進(jìn)行遠(yuǎn)程操作和性能監(jiān)控
- 用于 SEM 的泵采用比懸浮泵更的震動(dòng)隔離系統(tǒng),并且在同類(lèi)產(chǎn)品中有著的磁場(chǎng)特征
性能指標(biāo)
技術(shù)指標(biāo)
| 泵速 | 氮?dú)?/span> | 氦氣 | 氦氣 |
| CFF 6 英寸 | 350 L/s | 450 L/s | 450 L/s |
| CFF 8 英寸或 ISO 160 | 550 L/s | 600 L/s | 510 L/s |
| 壓縮比 | 1 x 109 | 1 x 107 | 1 x 106 |
| 極限真空(采用推薦前級(jí)泵) | 小于 1 x 10-10 mbar(小于 1 x 10-10 Torr) | ||
| 進(jìn)氣口法蘭選擇 | CFF 6 英寸;CFF 8 英寸;ISO 160;ISO 160-F 螺栓 | ||
| 前級(jí)管道法蘭 | KF25 | ||
| 轉(zhuǎn)速 | 42000 rpm | ||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 小于 5 分鐘 | ||
| 推薦的前級(jí)泵 | Agilent TS300 干式渦旋泵; | ||
| Agilent DS-302 旋片泵 | |||
| 工作位置 | 任意 | ||
| 冷卻要求 | 自然空氣對(duì)流; | ||
| 可用水冷(請(qǐng)使用導(dǎo)電性為 500 µS/cm 的水) | |||
| 烘烤溫度 | 120oC 在進(jìn)氣口法蘭處,值(CF 法蘭); | ||
| 80oC 在進(jìn)氣口法蘭處,值(ISO 法蘭) | |||
| 振動(dòng)參數(shù)(位移) | 在進(jìn)氣口法蘭處小于 0.01 μm | ||
| 重量,kg(磅) | ISO 法蘭:19.4 (43.0); | ||
| CF 和 ISO 螺栓法蘭: 23.4 (51.6) | |||
抽速圖


外形圖





































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