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探針臺卡盤CHUCK高低溫晶圓卡盤
TC-A (Air Cooling Thermal System )系列是一款溫度范圍為-65℃到200℃氣冷型高低溫卡盤系統(tǒng),主要由氣冷高低溫卡盤和氣冷溫控器組成。系統(tǒng)具有寬泛的溫度控制范圍、緊湊的冷卻套件、純空氣制冷、高溫度精度與穩(wěn)定性控制等特性,應(yīng)用于八英寸及以下尺寸的半導(dǎo)體器件或晶圓的變溫電學(xué)性能關(guān)鍵參數(shù)分析,如:功率器件建模測試、晶圓可靠性評估、生產(chǎn)型變溫檢測,變溫光電測試、射頻 變溫測試等。
探針臺卡盤CHUCK高低溫晶圓卡盤
高低溫晶圓盤三溫CHUCK探針臺卡盤對于要求快速溫度變化的分析和生產(chǎn)測試應(yīng)用,降溫和加熱時間對晶圓測試尤為重要。溫度轉(zhuǎn)換率比基于水或空氣的傳統(tǒng)系統(tǒng)要快得多。
• 僅使用空氣冷卻—無液體或帕爾貼元件
• 溫度范圍為-65℃到200℃
• 模塊化系統(tǒng),適合單獨測試的需要
• 冷卻劑占地面積小,節(jié)省空間
• 兼容各大主流生產(chǎn)型或分析型探針臺
• 可集成全套的軟硬件于一體
功率器件建模測試、晶圓可靠性評估、生產(chǎn)型變溫檢測,變溫光電測試、射頻 變溫測試等

































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