tcwafer晶圓測(cè)試儀12寸34點(diǎn)熱電偶

則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測(cè)量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測(cè)量值以及整天晶圓溫度分布；同時(shí)，也可利用此傳感器來(lái)持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過(guò)程及延遲周期等?。囟鹊木鶆蚺c否，良率）

溫度范圍：

低溫：-150 to 700°C（硅基膠粘劑）

高度：-150 to 1,200°C（焊接設(shè)計(jì)）

熱電偶選型：

● Type K (精度級(jí)別±1.1°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,372°C
● Type N (精度級(jí)別±1.1°C or 0.4%)， 溫度范圍 -270 to 1,300°C
● Type E (精度級(jí)別±1.0°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,000°C
● Type T (精度級(jí)別±0.5°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 400°C
● Type R/S (精度級(jí)別±1.5°C or 0.25%) ，溫度范圍 -50 to 1,768°C

晶圓材質(zhì)：

硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的、涂層的或圖案基底?？砂纯蛻粢蠖ㄖ苹濉⑿螤詈统叽?。

主要規(guī)格：

4寸，6寸，8寸，12寸

擴(kuò)展線：可選絕緣層材質(zhì)，接頭類型。密封的扁平電纜，可在大氣中打到10-7托。長(zhǎng)度由客戶選

傳感器引線：長(zhǎng)達(dá)40英尺–可定制,

被覆材質(zhì)：石英 陶瓷纖維 TEF

絕緣材料：石英，聚四氟乙烯，二氧化硅，陶瓷，聚酰*胺

線規(guī)：20 AWG – 40 AWG

a）主要型號(hào)有k/t/r(根據(jù)測(cè)溫范圍以及精度要求選型)

k型適合：0°c -600°c，精度級(jí)別為±1.1°c or ±0.4%

t型適合：200°c以下，精度級(jí)別為±0.5°c or ±0.4%

r型適合：0°c-1100°c，精度級(jí)別為0.1%

b)產(chǎn)品主要規(guī)格有：2寸/4寸/6寸/8寸/12寸

c)溫接點(diǎn)可生產(chǎn)1~24點(diǎn)（但硅片越小測(cè)溫點(diǎn)盡量減少，因?yàn)楹更c(diǎn)需要打孔存在應(yīng)力，另外需要排線，測(cè)溫點(diǎn)越多難度越高）

d)使用環(huán)境為普通或者真空環(huán)境

e）晶圓材質(zhì)：硅片或藍(lán)寶石襯底片

tcwafer晶圓測(cè)試儀12寸34點(diǎn)熱電偶