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等離子清洗機

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2026-08-07
  • 廠商性質(zhì)
  • 所在地區(qū)深圳市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量72
  • 人氣值6234
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用于對半導(dǎo)體封裝過程中 W/B 前、Molding 前的 L/F、Substrate、BGA 產(chǎn)品清洗,電漿清洗制程中具有可重復(fù)性高、可控性強、稼動率高,無污染產(chǎn)生,以及運營成本低的特性;增強基板表面浸潤能力,使銀漿與基板間貼合更緊密和更牢固;改善基板表面浸潤能力,以及使基板及焊盤表面粗化。
等離子清洗機 產(chǎn)品詳情

等離子清洗機的等離子體是一種有效的清潔方式,無需使用危險溶劑。在半導(dǎo)體加工中,等離子體清洗通常被用來在焊線前準備晶圓表面。去除污染(助焊劑)可以加強粘接的粘性,這有助于延長設(shè)備的可靠性和壽命。在生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用中,等離子體清洗對于實現(xiàn)合成生物材料和天然組織之間的兼容性很有用。表面改性可以限度地減少不良反應(yīng),如炎癥、感染和血栓形成。

典型應(yīng)用:
● 電線連接表面處理
● 去除污染物(焊劑)或?qū)Ρ砻孢M行消毒
● 促進兩個表面之間的粘連
● 控制表面張力以達到疏水或親水的表面
● 提高生物相容性
● 通過交聯(lián)提高聚合物的性能,減少磨損設(shè)備的摩擦力

等離子清洗機適用于半導(dǎo)體封裝過程中 W/B 前、Molding 前的 L/F、Substrate、BGA 產(chǎn)品清洗;增強基板表面浸潤能力,使銀漿與基板間貼合更緊密和更牢固;改善基板表面浸潤能力,以及使基板及焊盤表面粗化。

技術(shù)特點:
1、采用全自動程控接口,觸摸屏人機界面,操作簡單;
2、采用的腔體設(shè)計,清洗均勻性好,清洗質(zhì)量高效;
3、具有500W,13.56MHZ 射頻功率輸出,并且可以通過網(wǎng)絡(luò)匹配控制器快速進行阻抗匹配, 使反射功率降至。
4、采用腔體內(nèi)上下兩層設(shè)計,每層 8 料盒,共計 16料盒(建議客戶清洗 8料盒)產(chǎn)品,結(jié)合化學(xué)反應(yīng)及物理撞擊,清洗周期短,電漿效率高,清潔效率高
5、架構(gòu)簡單、占地面積小、生產(chǎn)率高等優(yōu)點,并且保養(yǎng)維護簡單且快速,系統(tǒng)運行穩(wěn)定;
6、D/A 和 W/B 前深度清洗,使得基板和焊盤表面粗化疏水性增強,將銀漿與基板間貼合更緊密和更牢固

產(chǎn)品參數(shù):

產(chǎn)品型號
 YH-DZ-PT3000
使用電壓
 三相五線制380V 50Hz
整機功率
 小于5kW
運行環(huán)境
 溫度15~25℃,濕度40%~60%RH
制程參數(shù)存儲
 12組
機臺總重量
 850KG
壓縮空氣壓力
 0.6MPa,10L/Min
壓縮空氣流量
 ≤10LPM
壓縮空氣管徑
 外徑6mm,內(nèi)徑4mm
排氣接頭
 NW40
尺寸
機器尺寸(L*W*H)
 1093mm*1030mm*2020mm
內(nèi)腔尺寸(L*W*H)
 610*450*467mm
適用清洗產(chǎn)品
封裝基板類型
 L/F,substrate
產(chǎn)品寬度
 ≤ 100mm 可定制
產(chǎn)品長度
 ≤ 300mm 可定制
產(chǎn)品厚度
 ≤ 1mm 可定制
單次清洗數(shù)量
 16*25pcS(最多)
處理能力
水滴角
 20 ≤ avg ≤ 45° @ 產(chǎn)品寬度
工作范圍
料盒要求
 導(dǎo)電側(cè)面開通風(fēng)槽
料盒數(shù)量
 16PCS(最多)
真空系統(tǒng)
真空泵輸出功率
 2.5KW(真空泵) +0.75KW(羅茨泵)
泵速
 250m3/H ,1Pa.50Hz
制程壓力范圍
 80MMTORR 以下
真空閥氣壓檢測范圍
 8*10 -3 -1Torr ;制程壓力 5-50mtorr
制程氣體管接頭類型
 Swage Lock
制程氣體類型
 Ar 、 95%Ar&5&H 2 ;腐蝕氣體除外
極規(guī)對數(shù)
 雙層,每層 4 個
電源
射頻輸出功率
 < 1000W
射頻頻率
 射頻13.56MHZ,功率 0-500W 可設(shè)置,功率可設(shè)置                                   
電源品牌
 進口/國產(chǎn)品牌可選
設(shè)備安裝參數(shù)
 機臺尺寸:1093*1030*2020mm  (含三色燈)
 制程參數(shù)存儲:12 組
 機臺總重:850kg
 運行環(huán)境:15-25℃,40%-60%RH
 整機供電要求:AC 380V,三相五線良好接地
 壓縮空氣壓力:0.6Mpa,10L/Min
 壓縮空氣流量:≤10LPM
 壓縮空氣管徑:外徑 6mm,內(nèi)徑 4mm
 排氣接頭:NW40
 整機功率:小于5KW


等離子清洗機3

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