熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱擴(kuò)散原理測(cè)量氣體流量的儀表。傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)鉑熱電阻RT組成。一個(gè)是速度傳感器RH,一個(gè)是測(cè)量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)鉑熱電阻RT置于被測(cè)氣體中時(shí),其中傳感器RH被加熱,即利用流體流過(guò)發(fā)熱物體時(shí),發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。當(dāng)流體流動(dòng)時(shí),兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系,再通過(guò)微電子控制技術(shù),將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測(cè)量流量信號(hào)的線性輸出。
另一個(gè)傳感器RMG用于感應(yīng)被測(cè)氣體溫度,隨著氣體流速的增加,氣流帶走更多熱量,傳感器RH的溫度下降。
根據(jù)熱效應(yīng)金氏定律,加熱功率P、溫度差△T(TRH-TRMG)與質(zhì)量流量Qm之間的關(guān)系可用下式表示:

式中: K1、K2、K3--- 設(shè)計(jì)和校準(zhǔn)參數(shù);
△T--- 溫差(=T2-T1),K;
P--- 輸入加熱功率,W;
Qm--- 質(zhì)量流量,kg/S。
這稱為金氏定律, K1、K2、K3 取決于傳感器的幾何尺寸和氣體特性,如熱導(dǎo)率、粘度和比熱容。




























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