電子行業(yè)超純水設(shè)備典型工藝流程:
1.預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-純水泵-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對(duì)象(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
2.預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對(duì)象 (≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
3.預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(工藝)
4.預(yù)處理-一級(jí)反滲透-加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級(jí)反滲透(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器(0.2或0.5μm)-用水對(duì)象(≥17MΩ.CM) (工藝)
5.預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對(duì)象(≥15MΩ.CM)(工藝)




































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