高穩(wěn)定倍光路型激光干涉?zhèn)鞲衅?/h3>

●應(yīng)用東京精密的要素技術(shù)之一的光纖激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)，開發(fā)出分辨率0.31nm的高穩(wěn)定倍光路型激光干涉?zhèn)鞲衅鞑⒋钶d在產(chǎn)品上。
●動(dòng)態(tài)量程與分辨率之比高達(dá)42,000,000 ：1，一次跟蹤即可評(píng)價(jià)大范圍的輪廓形狀及其隱藏在形狀下面的微細(xì)表面形狀，是一款劃時(shí)代的產(chǎn)品。

在驅(qū)動(dòng)部搭載線性馬達(dá) 已取得

●憑借線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了高精度·高速移動(dòng)。
●電子低振動(dòng)化穩(wěn)定，可以實(shí)現(xiàn)高倍率測(cè)定。

只需一次測(cè)量即可進(jìn)行粗糙度和輪廓的分析

●可在保持高精度的同時(shí)提高測(cè)量效率。

大量程

●橫向200mm，縱向13mm，測(cè)量范圍大。
●可±45°自動(dòng)控制驅(qū)動(dòng)部?jī)A斜
（SURFCOM CREST-T型號(hào)）

外觀圖

規(guī)格

※1 ：標(biāo)配測(cè)針DM84145 使用時(shí)
※2 ：0.03 mm/s, 高斯濾波:λc=0.08 mm,λs=2.5 μm
※3 ：±45 度開口角, 0.3 mm/s, 最小二乘圓計(jì)算,高斯濾波 ：λs=0.08 mm
※4 ：±45 度開口角, 0.3 mm/s, 包含標(biāo)準(zhǔn)器的不確定性
※5 ：0.3 mm/s, 包含標(biāo)準(zhǔn)器的不確定性
※6 ：?jiǎn)蝹?cè)斜面的分析長(zhǎng)度5 mm 以上, 0.3 mm/s, 包含標(biāo)準(zhǔn)器的不確定性