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公司介紹主營產(chǎn)品

北京中科科美科技股份有限公司是直屬企業(yè)北京中科科儀股份有限公司的控股子公司，是專門從事真空系統(tǒng)集成產(chǎn)品設(shè)計、制造、銷售和服務(wù)的國家企業(yè)，為客戶提供真空系統(tǒng)整體解決方案和一站式服務(wù)，包括真空集成系統(tǒng)的總體設(shè)計、工程實施、設(shè)備安裝、技術(shù)服務(wù)等。公司主營業(yè)務(wù)分為空間環(huán)境模擬裝置、充氣回收檢漏系統(tǒng)、新能源真空應(yīng)用系統(tǒng)和大科學工程真空配套四大類別。公司的客戶行業(yè)涉及航空航天、新能源（太陽能和核能）、新興裝備制造、科研院所、大科學工程、工業(yè)鍍膜、汽車制造、電子、低溫、超導、電氣檢測等多個領(lǐng)域。公司擁有*的裝備制造實力，通過了ISO質(zhì)量管理體系和中核供應(yīng)商體系認證，擁有3項發(fā)明及三十余項實用新型，曾參與：神光Ⅲ、北京高能同步輻射光源、特高壓蘇通GIL綜合管廊工程、江門中微子探測等國家大科學工程項目的實施，在真空領(lǐng)域具有國內(nèi)的技術(shù)實力。中科科美致力于發(fā)展成為國內(nèi)、具有國際競爭力的真空系統(tǒng)集成整體解決方案供應(yīng)商，實現(xiàn)與客戶的共同成長！

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產(chǎn)品簡介在線詢價

該設(shè)備為高真空ITO箱式鍍膜設(shè)備，主要用于沉積AZO、GZO等系列透明導電膜，金屬薄膜，半導體薄膜等，也可用于其他功能性薄膜的沉積。

顯示器面板行業(yè)—ITO/金屬電極研發(fā)中試線產(chǎn)品詳情

　　一、應(yīng)用領(lǐng)域：

　　該設(shè)備為高真空ITO箱式鍍膜設(shè)備，主要用于沉積AZO、GZO等系列透明導電膜，金屬薄膜，半導體薄膜等，也可用于其他功能性薄膜的沉積。

　　1. 系統(tǒng)可實現(xiàn)ITO、AZO、GZO等系列透明導電膜的研究與工藝探索；

　　2. 可以完成單金屬、合金、多層膜的濺射沉積；

　　3. 可以完成氧化物、氮化物、碳化物等介質(zhì)膜的反應(yīng)濺射沉積；

　　4. 可以實現(xiàn)SiO2、Al2O3等絕緣材料的濺射沉積；

　　5. 可以進行含有上述多層膜的功能膜研究開發(fā)；

　　二、性能參數(shù)：

　　1、雙腔室結(jié)構(gòu)（含工藝腔室及進出樣室）；

　　2、濺射樣品尺寸約450×250mm；

　　3、磁控濺射靶四支，其中兩支為孿生靶，控制電源為兩套直流電源和一套中頻電源；

　　4、配三路氣體及相應(yīng)流量控制器；

　　5、配備軸向線性往復運動樣品臺；

　　6、在線膜厚檢測裝置；

　　7、加熱及溫控系統(tǒng)，保證腔室能夠加熱至500℃；

關(guān)鍵詞：絕緣材料直流電源流量控制器

熱門產(chǎn)品

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