產(chǎn)品描述：

高靈敏度，不需要靶鏡，非接觸式測(cè)量

可測(cè)的微、小、輕、薄、黑、透、易變形、熱表面

對(duì)被測(cè)物表面反射率無嚴(yán)格要求，可測(cè)“黑”表面

采用激光自干涉原理，測(cè)量結(jié)果可溯源

無外部光學(xué)器件，操作靈活方便

可非接觸測(cè)量物體的位移、振動(dòng)，以及材料膨脹系數(shù)等。

統(tǒng)的激光干涉儀通常需要在被測(cè)目標(biāo)上設(shè)置靶鏡，以反射測(cè)量光線獲得高精度的測(cè)量結(jié)果。鐳測(cè)科技推出的國(guó)際的LY1000型非接觸式激光回饋干涉儀，無需靶鏡，僅利用待測(cè)工件反射甚至是散射的微弱光線即可實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量，是真正意義上的非接觸式測(cè)量。 除可用于傳統(tǒng)激光干涉儀適用的測(cè)量目標(biāo)外，還可適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的目標(biāo)測(cè)量，如液面高度、半導(dǎo)體晶圓位置、微機(jī)械位移、材料膨脹系數(shù)、振動(dòng)等。

以下是本產(chǎn)品的技術(shù)或特點(diǎn)：

1、高靈敏度，可實(shí)現(xiàn)對(duì)非配合目標(biāo)的非接觸式測(cè)量

2、準(zhǔn)共路技術(shù)有效抑制儀器內(nèi)部環(huán)境變化引起的漂移，儀器具有較小的零漂。

3、具有較高的分辨率和較大量程，測(cè)量結(jié)果可以溯源。

非接觸激光回饋干涉儀的分辨率可達(dá)納米量級(jí)，量程可達(dá)2m，如果加擴(kuò)束鏡，可達(dá)數(shù)米。它同干涉儀一樣，測(cè)量結(jié)果可以溯源到光波長(zhǎng)，從而無需標(biāo)定。

產(chǎn)品由激光測(cè)頭、信號(hào)處理電箱和軟件組成。