介質要求 :   非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類 :   內置 98 種氣體，請參考背面一臺設備內置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量     程  : 從 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）

測量范圍：    0.01 ～ 99% 滿量程

顯示流量 ：   128% 滿量程

顯 示 屏：    帶按鍵，標準為 LCD 顯示屏，可選 TFT 彩色顯示屏

顯示方式 ：   同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精     度  ： ± （0.8 % 讀數 + 0.2 % 滿量程） 精度升級部分見左下± （0.4 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）（可選）累計流量精度    流量精度之外增加 ± 0.5 % 額外誤差

重 復  性：   ± （0.2 % 讀數 +0.02 % 滿量程）

工作壓力：    1 MPa 表壓（可選 2 MPaG 高壓系列）

操作壓力 ：   如果不做真空特殊標定，建議在絕壓 80 KPaA 以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度：     ±0.5 % 讀數（讀數＞  1Atm），或 ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）

進出口壓差  ：  0.5 MPa

數據刷新頻率：    數字信號 40 Hz @ 19200 波特率；模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率 ：   10 Hz

數字輸入 / 輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232 / RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模擬輸入 / 輸出信號：    0 - 5 VDC、1 - 5 VDC、0 - 10 VDC、4 - 20 mA

可選第二路模擬輸出 ：   質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加  ± 0.1 % 量程誤差

 供電電壓：7 - 30 VDC （如選 4 - 20 mA 輸出，須為 15 - 30 VDC） 

供電電流：40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）

輸出接口：DB9，可選 DB15、6 針工業(yè)接頭、8 針 Mini-DIN