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Gasboard-2061 紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

參考價(jià)
150000
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)Gasboard-2061
  • 品牌四方儀器
  • 所在地武漢市
  • 更新時(shí)間2026-05-10
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限6
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量457
  • 人氣值620166
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創(chuàng)  新 點(diǎn):
2026-05-11
Gasboard-2061紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

四方光電(武漢)儀器有限公司為四方光電股份有限公司(代碼688665)的全資子公司,成立于2010年,前身為湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司,簡(jiǎn)稱:四方儀器,是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測(cè)量方案的高新技術(shù)企業(yè),服務(wù)于環(huán)境監(jiān)測(cè)、過程氣體監(jiān)測(cè)、智慧計(jì)量等領(lǐng)域。

基于四方光電核心氣體傳感技術(shù)平臺(tái)的優(yōu)勢(shì),湖北銳意開發(fā)了系列非分光紅外(NDIR)、紫外差分吸收光譜(UV-DOAS)、激光拉曼(LRD)、超聲波(Ultrasonic)、熱導(dǎo)(TCD)、光散射探測(cè)(LSD)等技術(shù)原理的氣體成分流量儀器儀表,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測(cè)、冶金、煤化工、生物質(zhì)能源等各個(gè)行業(yè),在節(jié)能減排中發(fā)揮重要作用。

四方儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的便攜式紅外沼氣分析儀、微流紅外煙氣分析儀、紅外煤氣分析儀曾相繼獲得國家重點(diǎn)新產(chǎn)品證書,紅外煤氣分析儀獲得中國儀器儀表學(xué)會(huì)優(yōu)秀產(chǎn)品獎(jiǎng)榮譽(yù),其核心技術(shù)獲得湖北省發(fā)明金獎(jiǎng)。四方光電“微流紅外煙氣傳感器研究及產(chǎn)業(yè)化”獲得工信部2019年工業(yè)強(qiáng)基工程重點(diǎn)“產(chǎn)品、工藝”應(yīng)用計(jì)劃示范項(xiàng)目,公司獲得應(yīng)用計(jì)劃示范企業(yè)。

四方儀器憑借長期的技術(shù)沉淀、嚴(yán)格的質(zhì)量體系及國際化視野,產(chǎn)品已出口多個(gè)國家和地區(qū),正在朝著氣體分析儀器儀表增值應(yīng)用領(lǐng)域的國際品牌邁進(jìn)。








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產(chǎn)地國產(chǎn) 加工定制 檢測(cè)原理NDIR
檢測(cè)氣體WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 量程1~264ppm(0~200mTorr) 重復(fù)性±0.5%
線性±1%F.S. 檢測(cè)限1ppm
紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝 產(chǎn)品詳情

紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝


產(chǎn)品名稱:紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

產(chǎn)品型號(hào):Gasboard-2061


紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝產(chǎn)品概述

Gasboard-2061是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。


產(chǎn)品特性

)使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測(cè)支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

(2)響應(yīng)時(shí)間快,高靈敏度

(3)無耗材

(4)模擬/數(shù)字通信

(5)模塊化設(shè)計(jì),便于集成


技術(shù)參數(shù)


檢測(cè)原理NDIR
檢測(cè)氣體WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測(cè)限1ppm



應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測(cè)


四方光電(武漢)儀器有限公司為四方光電股份有限公司的全資子公司,簡(jiǎn)稱:四方儀器,前身為成立于2010年的湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司,是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測(cè)量方案的高新技術(shù)企業(yè),服務(wù)于工業(yè)過程監(jiān)測(cè)、環(huán)境監(jiān)測(cè)、汽車/發(fā)動(dòng)機(jī)排放檢測(cè)、科學(xué)研究氣體分析等領(lǐng)域。







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