定制干涉儀系統(tǒng)

TRIOPTICS為具有更廣闊應用范圍的非標準檢測系統(tǒng)提供了很大的支持。多功能的μPhase是結構緊湊、高精度模塊化的干涉儀系列。這就意味著可以在標準檢測部件的基礎上實施定制的方案，以完成特殊的測量任務。TRIOPTICS能夠提供需要的組件，同時，我們的軟件工程師也在不斷開發(fā)的測量組件與軟件的模塊	μPhase集成到車床中

*快速、無損的單次測量；

*高分辨率相機；

*兼容不同樣品的反射率（μPhase 100）；

*可聚焦在樣品表面（μPhase 1000）；

*使用第二臺相機進行調(diào)整；

*結構緊湊、模塊化；

*堅固的防塵外殼；

*輕松集成在生產(chǎn)設備與生產(chǎn)線上；

*標準測量波長：632.8 nm；定制波長：355nm - 1064（依需求）；

*軟件結構合理，功能比較全面，適用于生產(chǎn)線和實驗室；

可選應用

*反射式測量平面、球面、柱面、環(huán)面和非球面；

*檢測球面、柱面和環(huán)面的曲率半徑；

*透射式波前檢測；

*精密金剛石機床的工具直接補償測量，無需進行耗時易錯的樣品替換與校準過程；

*適應鏡像測試；

*檢測高精度非光學元件，如：

*光纖端面；

*激光二極管端面；

*不同材質(zhì)的球；

*散熱片；

*密封表面（如金屬】陶瓷與合成材料）；

*檢測燃料噴嘴；

*醫(yī)學應用，如人造髖關節(jié)的測試；

每臺μPhase干涉儀都配備了基于應用的μShape軟件，它輔助設備檢測平面、球面、柱面、環(huán)面與非球面樣品的表面面型與光學波前，可應用在生產(chǎn)或研究環(huán)境中。附加模塊能夠使軟件適應客戶的特定需求。即使在購買μPhase系列設備后，也可隨時添加這些模塊。 軟件控制測量與顯示測量結果，存儲和記錄所有檢測原始數(shù)據(jù)，并確保透明度和可追溯性。 μShape軟件具有簡明清晰的用戶界面，滿足各種測量要求，并提供了多個擴展的模塊。	μShape干涉儀軟件

*不同用戶等級，不同權限； *輕松預設置所有測量與分析任務； *圖形窗口可以以多種圖像格式存儲（例如bmp，jpg...）; *可將個人參數(shù)或數(shù)據(jù)導出為文本，二進制或其他通用文件格式（例如，QED，Zygo，XYZ，DigitalSurf）； *測量結果以參數(shù)或2D、3D圖形方式呈現(xiàn)； *測量協(xié)議結果顯示一目了然，客戶可自定配置； *常用功能的快捷方式； *校準和測量過程的攝像機圖像分別單獨可視化； *μShape中存儲所有參數(shù)和設置（包括窗口大小、位置、樣本數(shù)據(jù)）； *持續(xù)改進，定期更新；

為了便于測量擴展與進一步分析。μShape軟件提供了多種拓展模塊，如下所示：

*在球面或CGH設置中分析非球面；

*分析圓柱面或環(huán)面；

*外部通訊接口，允許外部程序控制干涉儀，如在自動化系統(tǒng)中；

*可檢測玻璃板同質(zhì)性；

*可聚焦或不可聚焦元件與系統(tǒng)的MTF分析；

*可一次測量多個孔徑，如在拋光磨頭上；

*同時統(tǒng)計分析多個子孔徑；

*棱鏡和楔角的檢測與分析；

*考慮已知樣品偏差，例如光學設計偏差；

*軟件分析工具彌補車床加工的誤差；

*晶片分析；

*粗糙度與PSD分析；

*靜態(tài)條紋分析，用于不穩(wěn)定環(huán)境中進行快速測量；

軟件附加項

Asphere分析模塊

非球面模塊在非球面設置中使用計算機生成的全息圖（CGH）分析旋轉(zhuǎn)對稱的非球面，在球面設置中分析非球面，可輸入和存儲非球面的數(shù)據(jù)，支持多種格式，非球面擬合能夠除去調(diào)整誤差和系統(tǒng)設置的誤差。

Cylinder分析模塊

Cylinder模塊可在cylindrical設置中分析圓柱形樣品（使用CGH），圓柱形擬合能夠除去調(diào)整誤差。

外部接口模塊

外部接口模塊允許μShape和外部軟件之間進行通訊，如LabVIEW；

光纖連接模塊

光纖連接附加模塊根據(jù)國際IEC慣例提供PC型（物理接觸）光纖連接器端面的分析。一次完成主要參數(shù)的測量并可選擇顯示“通過/未通過”結果。

同質(zhì)性模塊

在這一模塊中，兩個影響通過樣品光路的參數(shù)——同質(zhì)性（折射率變化）和厚度變化能夠被確定。

橫向拼接模塊

借助外部控制與分析程序μStitch，您的干涉儀可以以子孔徑測量較大的平面或球面樣品，并將它們拼接在一起，獲得整體的表面面型。依需求可添加橫向定位系統(tǒng)。

數(shù)字模塊

在這個模塊中，不同的數(shù)據(jù)圖可通過數(shù)學計算分析生成的附加結果圖，暫不可進行矩陣操作。

多孔徑分析模塊

該模塊能夠在一個視場范圍內(nèi)對未連接的子孔徑進行測量和分析，例如測量固定在拋光的部分。

多重統(tǒng)計分析

當樣品規(guī)格規(guī)定不同樣品子區(qū)域的不同限制時，MultiStat模塊可在一次測量中完成相關計算，并分列出每個區(qū)域的結果。

棱鏡分析模塊

90°直角棱鏡的角誤差與楔角角度可通過分析角度偏差造成的干涉條紋圖樣。

樣品標準數(shù)據(jù)模塊

樣品標準數(shù)據(jù)能夠考慮附加的樣品誤差，例如，與設計相關的標準誤差的參數(shù)。

工具補償模塊

應用于μShape軟件的工具補償模塊能夠補償轉(zhuǎn)臺的準直誤差。

晶片模塊

晶片分析將矩形區(qū)域內(nèi)尺寸的圖形孔徑進一步分類，并通過算數(shù)平均值表征每個子區(qū)域。

Torus分析模塊

在Torus軟件的輔助下，附加環(huán)形樣品在toric或spherical設置中被分析，余下的調(diào)整誤差可通過環(huán)形擬合消除，適合檢測隱形眼鏡和晶片模型。

楔形分析模組

楔形分析模組使用待測樣品后的輔助鏡，可經(jīng)一次測量確定平面鏡與光學平板的楔角。

用戶定制模組

TRIOPTICS開發(fā)了軟件的干涉測量功能，并提供可定制測量的程序，計算特定參數(shù)，依需求顯示和輸出數(shù)據(jù)，您可聯(lián)系我們滿足您的更多測量需求。