AccuFiz干涉儀，面世于2011年，是重點針對波前中高頻特征測量的高分辨菲索干涉儀，光學(xué)系統(tǒng)采用衍射極限設(shè)計，實現(xiàn)了高傳函，低噪聲；同時AccuFiz干涉儀借鑒了4D公司在動態(tài)相移干涉技術(shù)上的成功經(jīng)驗，沿用其核心算法，采用動態(tài)載波相移技術(shù)，可在氣流擾動和振動條件下實現(xiàn)高精度測量，這一技術(shù)使得AccuFiz可以解決大部分的動態(tài)測量問題。

AccuFiz干涉儀也是一款緊湊、輕巧的菲索干涉儀，可以滿足多樣的測量需求，是一款性價比很高的干涉儀。具有以下特點：

- 衍射極限光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計，提供高空間分辨率，可清晰看到樣品表面中高頻特征

- 動態(tài)載波相移技術(shù)，實現(xiàn)在氣流擾動和振動條件下的高精度測量

- 可接短相干光源模塊，直接測量平行平面面形，可測大于300微米厚樣品

系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：菲索型干涉儀

采集模式：機械相移式，動態(tài)載波相移式

工作波段：632.8nm 穩(wěn)頻He-Ne光源

                可選：532nm、1053nm、1064nm、1550nm（SWIR）、3-5µm（MWIR）、10.6µm（LWIR）

光    源：光源尺寸連續(xù)可調(diào)，降低相干噪聲

              可接入短相干光源、高功率光源

光束口徑：標準4英寸、6英寸；定制大口徑：12英寸、18英寸、24英寸

相機像素：1200 x 1200 pixels或2400 x 2400 pixels， 12bit

變倍：1-10X Smart ZoomTM

外形尺寸：4英寸： 51.4 x 23.8 x 20.3 cm 

                6英寸： 76.2 x 27.9 x 24.1 cm 

重量：4英寸：13.6kg；6英寸：22.7kg

條紋分辨率：1.44MP相機：接近500對；6MP相機：接近1000對

空間頻率響應(yīng)： ITF > 0.7，@ 500 cyc/AP for 1.44 MP 相機; 1000 cyc/AP for 6 MP 相機 

RMS重復(fù)性：<0.0001 waves (0.06nm) RMS*

RMS精密度：0.001 waves（0.6nm）RMS*

最小曝光時間：10µs

樣品反射率：1-99%（需衰減）

*采用10個數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果；每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均

**采用10個數(shù)據(jù)，每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均；以這10個數(shù)據(jù)的平均值作為參考值；以每一個數(shù)據(jù)與參考值的差來計算RMS平均作為結(jié)果