設(shè)備主要由管式加熱爐、真空腔體、真空抽氣及放氣系統(tǒng)、 智能控制系統(tǒng)構(gòu)成，可以對試驗過程中的真空度和溫度進行有效地控制、監(jiān)測和記錄，具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便安全、外形美觀等特點。

1.管式爐加熱溫度1000℃，升溫速率0～15℃/min可調(diào)；

2.管式爐采用對開式結(jié)構(gòu)，開啟方便，快捷；

3.均溫區(qū)內(nèi)溫場均勻性±3℃，升溫過程中，有效加熱區(qū)平均升溫速率≤4℃/min前提下，溫度過沖不大于設(shè)置溫度3℃；

4.真空室采用臥式結(jié)構(gòu)，材質(zhì)為高純石英，滿足設(shè)備在百級潔凈間下的使用要求；

5.工件托架采用石英材質(zhì)，可容納直徑200mm,12片晶圓；

6..設(shè)備可在高真空200℃情況下連續(xù)工作72小時以上，溫度波動＜2℃；

7.真空室可充入氮氣、氬氣，流量精確可控, 加裝分流裝置，并設(shè)置擋板，防止充氣過快對產(chǎn)品有沖擊；

8.配分子泵真空度6×10-4pa；

9、配高精度鎧裝熱電偶；

10.采用西尼特智能溫控軟件，PLC控制，配7寸觸摸屏，可設(shè)定30條工藝曲線，每條工藝曲線30步，可實時顯示存儲相關(guān)溫度曲線，存儲時間長達1200天。配備USB和以太網(wǎng)接口，可遠程監(jiān)控；

11.本設(shè)備可以根據(jù)用戶需要提供定制；