企業(yè)概要

Company Profile

總部	堀場制作所 HORIBA, Ltd.
董事會成員	集團會長兼 CEO　堀場厚
	副會長兼集團 COO　齊藤壽一
	董事長兼 COO　足立正之
創(chuàng)立	1945年 10月17日
成立	1953年 1月26日
總部	601-8510 京都市南區(qū)吉祥院宮之東町2番地
注冊資本	120.11 億日元 (截至2020年12月31日)
綜合凈銷售額	1870.8 億日元 (至2020年12月31日)　» 投資者相關(guān)頁面
員工數(shù)量	8,269 (截至2020年12月31日)
業(yè)務范圍	生產(chǎn)和銷售汽車排放測量系統(tǒng)、環(huán)境測量儀器、種類齊全的科學分析儀、體外診斷分析儀和半導體行業(yè)使用的測量設備等。HORIBA還生產(chǎn)和銷售外圍測量與分析設備。此外，公司還可為實驗室等機構(gòu)提供用于研發(fā)、生產(chǎn)和其他應用的測量與分析設備
結(jié)算日	12月31日
上市	東京證券交易所第1部
日本分部	京都總部、滋賀、東京、宮城、櫪木、茨城、神奈川、靜岡、愛知、大阪、香川、廣島、福岡、熊本
海外分部	奧地利、巴西、加拿大、中國、法國、德國、印度、印度尼西亞、意大利、日本、韓國、波蘭、俄羅斯、新加坡、中國臺灣、泰國、英國、美國、越南

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在比利時、捷克、荷蘭、葡萄牙、俄羅斯、西班牙、瑞典和越南設立分公司
截至2020年12月31日

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產(chǎn)品簡介在線詢價

BHF濃度計監(jiān)測儀 CS-137高精度化學藥液濃度計專為半導體制造時清洗制程中所使用的BHF溶液而設計。實現(xiàn)了過去所沒有的高速響應性和小巧化，可用于監(jiān)測硅氧化膜的蝕刻以及晶片表面的微粒清除作業(yè)時所使用的BHF溶液（NH4F/HF/H2O）中的各成分濃度。

BHF濃度計監(jiān)測儀 CS-137 波美濃度計產(chǎn)品詳情

BHF濃度計監(jiān)測儀 CS-137

BHF濃度計監(jiān)測儀 CS-137高精度化學藥液濃度計專為半導體制造時清洗制程中所使用的BHF溶液而設計。實現(xiàn)了過去所沒有的高速響應性和小巧化，可用于監(jiān)測硅氧化膜的蝕刻以及晶片表面的微粒清除作業(yè)時所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分濃度。依據(jù)濃度計的輸出而進行的反饋控制，可以確保BHF溶液的濃度保持在允許范圍內(nèi)，同時，還可以避免不必要的藥液更換工作。

特征

監(jiān)測周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理。

實現(xiàn)了以大約3秒這樣短的測量周期，大幅提高了濃度的實時跟蹤性。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。

小巧設計有利于清洗裝置節(jié)省空間

底面面積只有原先的2/3(*)左右，這樣的小巧化設計有利于清洗裝置節(jié)省空間。可以很容易地組裝到清洗裝置中。
*與本公司產(chǎn)品CS-327比較

通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量

通過濃度計的信號輸出，進行BHF溶液的補給控制，從而實現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產(chǎn)量的全面提高。

全自動監(jiān)測與簡易控制

用戶只需引入BHF溶液即可。監(jiān)測是全自動方式，因此開始監(jiān)測后不需要進行任何控制。另外由于參照光譜測量時使用的是空氣，也可以測量水的濃度，從而可以跟蹤水因溶液蒸發(fā)和附著到晶圓而應起的濃度變化。這樣有利于二氧化硅的調(diào)整控制。

關(guān)鍵詞：濃度計

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