技術(shù)數(shù)據(jù)
| 量速度(文本) | 0.1 mm/s to 5 mm/s; |
| 掃描長度末尾(X 方向) | 130 mm |
| 分辨率 | 2 nm |
| 掃描長度開始(X 方向) | 0.1 mm |
| 定位速度(文本) | 0.1 mm/s to 30 mm/s |
| 輸入 | Standard probe LP-D 14-10-2/60° |
| 測量范圍 mm | 10 mm (100 mm probe arm) |
| 輪廓分辨率 | 2 nm |
| 掃描長度(文本) | 0.1 mm to 130 mm |
| 測量力 (N) | 1 mN to 30 mN, software-adjustable |

































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