X熒光光譜儀由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X熒光光譜儀能將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。

X熒光光譜儀是一種無損的，應用廣泛的光譜分析儀器，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統(tǒng)構(gòu)成，X射線管產(chǎn)生入射X射線，激發(fā)被測樣品，受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。

X熒光光譜儀根據(jù)其分光原理不同分成波長色散型X熒光光譜儀（波譜儀，WDXRF）和能量色散型X熒光光譜儀（能譜儀，EDXRF），我們通常所說的X熒光光譜儀就是指波長色散的儀器，X熒光光譜儀可對固體、粉末、液體、懸浮物、過濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進行定性、定量剖析，元素局限13Al-92U，含量局限ppb至，檢出限到2pg。

X熒光光譜儀是一種較新型的可以對多元素進行同時測定的儀器，在X射線激發(fā)下，被測元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線（即X熒光），波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

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