沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)采用污染小、高真空樣品倉
運(yùn)用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2
極低著陸電壓下高分辨觀察

樣品:金顆粒
著陸電壓:10 V
超高分辨觀察

樣品:Pt催化劑
加速電壓:30 kV
低加速電壓下高分辨EDX分析

樣品:Sn球
著陸電壓:1.5 kV
*2
Regulus8240/8230/8220
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 | ||
|---|---|---|---|
| 圖像分辨率 | 二次電子分辨率 | 0.8 nm/15 kV | |
| 0.9 nm/1 kV | |||
| 放大倍率 | 20~2,000,000 x | ||
| 電子槍 | 發(fā)射體 | ZrO/W熱場發(fā)射(肖特基熱場發(fā)射) | |
| 加速電壓 | 0.1~30 kV (步進(jìn):0.01 kV) | ||
| 束流 | 200 nA | ||
| 探測器 | 標(biāo)準(zhǔn)探測器 | UD (上探測器) | |
| MD (中探測器) | |||
| LD (下探測器) | |||
| 選配探測器*1 | PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器) | ||
| UVD(高靈敏度低真空探測器 ) | |||
| 低真空模式*1 | 樣品倉壓力范圍 | 5~300 Pa | |
| 可使用探測器 | PD-BSED, UVD, UD, MD, LD | ||
| 馬達(dá)臺(tái) | 馬達(dá)臺(tái)控制 | 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | |
| 移動(dòng)范圍 | X | 0~135 mm | |
| Y | 0~100 mm | ||
| Z(WD) | 1.5~40 mm | ||
| T(傾斜角) | -5~70° | ||
| R(旋轉(zhuǎn)角) | 360° | ||
| 樣品尺寸 | 直徑:φ200 mm, 高度:80 mm | ||
| 顯示器*1 | 23英寸LCD (1,920×1,080), 支持雙屏 | ||
| 圖像顯示模式 | 全屏顯示模式 | 1,280×960像素顯示 | |
| 單屏顯示模式 | 800×600像素顯示 | ||
| 雙屏顯示模式 | 800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2 | ||
| 四屏顯示模式 | 640×480像素顯示 | ||
| 六屏顯示模式*2 | 640×480像素顯示 *2 | ||
| 圖像數(shù)據(jù)保存 | 保存圖像尺寸 | 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 | |
| 選配附件 | 能譜儀(EDX) | ||
| X射線波譜儀(WDX) | |||
| 電子背散射衍射(EBSD) | |||
| 陰極熒光探測器(CL) | |||
| 冷凍傳輸系統(tǒng) | |||
| 各種功能樣品臺(tái) | |||
*1
為選配項(xiàng)。
*2
支持雙屏顯示。






























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