主要特點:
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集成的 TESCAN Essence™ EDS 分析平臺,在 Essence™ 電鏡操控軟件的單一窗口中即可實現(xiàn) SEM 成像和元素成分分析。
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TESCAN 采用的無機械光闌設(shè)計,采用實時電子束追蹤(In Flight Beam Tracing™)的技術(shù),可幫助用戶快速獲得電鏡合適的成像及分析條件。
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的大視野光路(Wide Field Optics™)設(shè)計,至2倍的放大倍數(shù),無需額外的光學(xué)導(dǎo)航攝像頭即可輕松、精確地實現(xiàn) SEM 導(dǎo)航。
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直觀、模塊化的 Essence™ 軟件設(shè)計,不同經(jīng)驗等級的用戶均可輕松操作。
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在樣品臺及裝置的樣品運動過程中,Essence™ 3D 防碰撞模塊可以直觀的顯示安裝樣品室內(nèi)的探測器及樣品臺的位置信息,提供安全性的保護。
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SingleVac™ 模式作為標(biāo)準(zhǔn)配置,為觀測不導(dǎo)電樣品和電子束敏感的樣品提供便利的分析利器。
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可選配的真空緩沖節(jié)能單元可顯著縮短機械泵的運行時間,提供環(huán)保、高經(jīng)濟效益的電子顯微鏡。
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模塊化分析平臺,可選配集成最多種類的探測器和附件(如陰極熒光探測器,水冷背散射電子探測器或拉曼光譜儀等)。
大視野設(shè)計,實現(xiàn)低倍精確導(dǎo)航
利用大視野光路(Wide Field Optics™)技術(shù),用戶可通過掃描窗口實時觀察樣品,直接實現(xiàn)感興趣位置的精確導(dǎo)航。大視野光路技術(shù)取代了傳統(tǒng)的CCD導(dǎo)航相機,提供的大景深,同時也提供樣品實際形貌的圖像,實現(xiàn)更直觀、的樣品導(dǎo)航過程。在 SEM 觀測窗口中,最小2倍的放大倍率保證了大視野無畸變的圖像實時觀測,可連續(xù)放大感興趣的區(qū)域,無需光學(xué)導(dǎo)航相機。實時的SEM窗口同樣可與預(yù)傾斜樣品臺(如 EBSD 預(yù)傾臺)配合使用,對于需要傾斜分析的樣品,支持掃描傾斜校正,從而實現(xiàn)更精確的導(dǎo)航。
自動操作
通過一次點擊就可以進行自動燈絲加熱和電子槍對中。眾多的自動程序減少了用戶的操作時間,并提供了操作的自動導(dǎo)航與自動化分析。通過內(nèi)置腳本語言(Python)用戶可以進入軟件大多數(shù)功能,包括電鏡控制、樣品臺導(dǎo)航、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶也可以自定義軟件的自動操作。
全新的 EssenceTM 電鏡控制軟件
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用戶界面有各種語言版本。
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集成的 Essence™ EDS 能譜軟件,輕松快捷地實現(xiàn)從成像切換到元素分析,通過軟件一鍵即可實現(xiàn)所有設(shè)置參數(shù)的更改。
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具備快速搜索功能、命令撤消及參數(shù)預(yù)設(shè)等多種功能,幫助用戶高效、快捷地完成分析工作。
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允許用戶設(shè)定符合其自身體驗水平或特定應(yīng)用的工作流程。
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Essence™ 防碰撞模型軟件能夠直觀的模擬出樣品室內(nèi)情況,有效避免碰撞的發(fā)生。
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內(nèi)置的自動系統(tǒng)檢查。
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通過局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)可實現(xiàn)電鏡遠程診斷。
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模塊化軟件體系結(jié)構(gòu)。
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標(biāo)準(zhǔn)的軟件模塊包括了:光電聯(lián)用、測量工具、圖像處理、對象區(qū)域等。
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選配軟件包括了:顆粒度分析、三維表面重構(gòu)等。
設(shè)備參數(shù):
| 電子槍 | 加熱鎢燈絲陰極 | |
| 電子光學(xué)部件 | 中間透鏡大視野觀察(Wide Field OpticsTM Technology with Intermediate LensTM )和實時電子束追蹤(In-Flight Beam TracingTM ) | |
| 分辨率 | 高真空模式: 3 nm@30 keV 8 nm@3 keV | 低真空模式: 3.5 nm@30 keV(BSE探測器*) 3.5 nm@30 keV(LVSTD探測器*) *選裝探測器 |
| 視野 | 位于工作距離時>50 mm | |
| 艙室 | LM、GM | |
| 標(biāo)配 | EssenceTM軟件、基礎(chǔ)款標(biāo)配低真空模式 | |
| 選配 | UniVac模式,氣壓范圍(7-500Pa);EssenceTM EDS;Vacuum Buffer;其他可選的探測器。 | |




























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