愛德華半導體干泵EPX180N/NE維修，四川愛德華半導體干泵EPX180N/NE維修，愛德華半導體干泵EPX180N/NE全國一級代理商，愛德華半導體干泵EPX180N/NE現(xiàn)場保養(yǎng)，愛德華半導體干泵EPX180N/NE系列產(chǎn)品配件號？歡迎： 楊生

愛德華半導體干泵EPX180N/NE系列產(chǎn)品是寄L/LE系列的防腐等級更高，運用的行業(yè)工藝更加全面立體，的發(fā)揮了EPX系列的優(yōu)勢。
新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX180 使用了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

EPX NE 系列的泵具有一個最終用戶控制器 (EUC)。通過最終用戶控制器可以實現(xiàn)獨立使用的本地控制，并能夠連接到各種結構的網(wǎng)絡，以進行遠程控制和監(jiān)視。

優(yōu)勢技術：
EPX 泵系統(tǒng)在大氣壓和極限真空之間的壓力下工作，增壓室內(nèi)無潤滑或密封液。這樣可以確保泵送系統(tǒng)清潔，不會因為系統(tǒng)的排空而使油或液體回流到系統(tǒng)中。

泵裝有一個 EMC 供應過濾器和一個變換器驅(qū)動，該驅(qū)動可提供和控制泵馬達的電源。前蓋上的 LED 標識 EPX 泵的狀態(tài)。馬達速度取決于泵入口處的壓力。當泵在入口壓力處于或接近大氣壓的情況下啟動時，馬達會加速到某個速度，該速度受可以由變換器驅(qū)動提供的電流限制。隨著入口處的壓力降低，馬達速度會加快，直至該速度最終達到其預定的速度。如果入口處的壓力增大，則馬達速度會再次減慢。

泵的定子和封閉馬達通過集成化水冷回路進行冷卻。因此，EPX 泵適合在不允許使用風扇的潔凈室環(huán)境下使用。冷卻水供應和回水管通過水接頭（由客戶指定）連接到泵。冷卻水的提供必須與環(huán)境條件（濕度和溫度）相當，以便不會達到結露點。

EPX L 系列的泵不能進行手動操作；這些泵必須通過外部控制設備進行控制和監(jiān)視，而控制設備必須通過工具接口模塊 (TIM) 連接到 EPX 泵。

EPX 泵由四個振動隔離器進行支持。

泵保護傳感器可在出現(xiàn)故障狀態(tài)時自動關閉泵。
應用：
EPX 系列涵蓋廣泛的應用，從水處理到中度工作負載的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

EPX180N/NE系列應用：
負載鎖
傳輸腔
PVD 濺射
灰化/PR 剝離
電介質(zhì)刻蝕
EPX 系列涵蓋廣泛的應用，從水處理到中度工作負載的制程。

性能參數(shù)：

訂貨號：
EPX180N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
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EPX180N 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干式泵 400V，3/8 水接頭
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EPX180NE訂貨號：
EPX180NE 干泵 400V 無 TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接頭
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EPX180NE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 400V TEL TIM 1/4 水接頭
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EPX180NE 干泵 208V LAM TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 400V MCM TIM 1/4 水接頭
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EPX180NE 干式泵 208V 無 TIM 3/8 水接頭
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性能優(yōu)勢：
緊湊的占地面積 – 作為可用的最小工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
低運行成本 – EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可功率效率。
的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在所有進氣口壓力下連續(xù)工作。
超清潔機械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
非常可靠 – EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX 技術，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，地延長了泵的使用壽命。
可兼容的網(wǎng)絡 – EPX 系列配有最終用戶控制，可以連接到各種結構的網(wǎng)絡，以進行診斷監(jiān)視和控制。

愛德華真空泵種類繁多，型號豐富，對于不同的型號有這很多的分類，因此在購買愛德華真空泵時一定要注意選型，選擇客戶需求的產(chǎn)品，歡迎有需要愛德華真空泵的客戶選型問題： 楊生