主機 描述

系統(tǒng)配置 精密3軸CNC系統(tǒng)，“T” 型布局

加工范圍 750mm×750mm

腔體結(jié)構(gòu) 主真空腔體（Φ1700mm×1450mm,304）,副真空腔體（304）

法拉第掃描系統(tǒng) 法拉第杯電流收集器，電流放大器（1000倍），掃描軟件系統(tǒng)（帶補償分析和校正）

計算機配置 Intel i5 2.4GHz處理器，64-bit 位Windows 7專業(yè)版，16GB內(nèi)存，10/100/1000以太網(wǎng)

接口，DVD RW光驅(qū)，50GB硬盤，USB接口

控制系統(tǒng) ACS Cmba-3C04N0N800WNNNYN

編程分辨率 0.1μm

性能展示 可加工平面、球面、柱面、非球面、離軸非球面、自由曲面等原件，加工材料包括

金屬、 玻璃、晶體、紅外材料、寶石等

加工精度rms＜1nm

離子源 指標

類型 射頻離子源

3石墨柵網(wǎng)（focusing girds with R=150mm）

柵網(wǎng)孔直徑d=1mm,柵網(wǎng)孔區(qū)域直徑D=38mm(resulting ion beam profile FWHM 25mm)

中和器 鎢絲陰極結(jié)構(gòu)中和器，0.3mm鎢絲

2個高壓電源結(jié)構(gòu)，BNC型號

離子源束電壓直流電源0-2000V

電源 離子源加速電壓直流電源0-1000V

中和器直流電源0-30A

射頻電源0-300V

線性軸 X Z Y

行程 800mm 150mm 800mm

驅(qū)動系統(tǒng) 直流直線電機 直流直線電機 直流直線電機

反饋類型 Renishaw真空光柵尺反饋 Renishaw真空光柵尺反饋 Renishaw真空光柵尺反饋

反饋分辨率 0.1μm 0.1μm 0.1μm

進給速度 運動速度＞100mm/s, 運動速度＞100mm/s, 運動速度＞100mm/s,

加速度＞2m/8’ 2 加速度＞2m/8’2 加速度＞2m/8’ 2

直線度 20μm over full travel 20μm over full travel 20μm over full travel

其他 三軸聯(lián)動，重復(fù)定位精度＜5μm，真空散熱保證，Z軸負載磁力配重，支持CNC

Gcode代碼控制

使用環(huán)境 氣體要求 供電要求 占地空間

基本光學(xué)加工環(huán)境， 380VAC; 1phase; 3.50m L x 4.0m D x 3.0 m

溫控±5℃以內(nèi) 6 to 8 bar 50/60hz Approx.5.500KG