001，002和003A 型質(zhì)量流量控制閥門都是常閉的比例控制閥門，可應(yīng)用在從 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮氣量程中。當(dāng)它與質(zhì)量流量計結(jié)合使用時，就可構(gòu)成一個閉合回路控制系統(tǒng) , 該系統(tǒng)允許單獨組件配置（流量計和控制閥門）。
 
技術(shù)參數(shù)
流量范圍：從 0-5SCCM 到 0-500SLPM
環(huán)境和操作溫度 ：-10 ～ 70 ℃（ 14 ～ 158 ℉）
操作壓力：1000PSIG （ 6.9 MPa ） ，具體請參考表一
安裝方向：對位置不敏感
額定工作電壓：4-11VDC （ 24VDC ）
額定工作電流：150mADC （ 275 mADC ）
閥線圈電阻：80 ± 4 Ω（ 001型和003A型） ； 63 ± 3 Ω（ 002型）
 
結(jié)構(gòu)材質(zhì)
主體：316 不銹鋼
孔：316 不銹鋼
閥組件（接液）：001 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802
                                   002 型：302SS ， 316SS ， Sandvik1802
                                   003A 型：302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik1802
密封材質(zhì)：001 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
                      002 型：Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
                      003A 型：Buna N ， Viton
* 注：上述流量范圍反映的是氮氣標(biāo)定下產(chǎn)生的最小流量和流量，可采用其它介質(zhì)的流量范圍，當(dāng)操作參數(shù)有疑問時為了保證選型，請咨詢廠家。