SWIM-1510MS干涉儀

掃描白光干涉顯微儀
產(chǎn)品特點及用途
結(jié)合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復雜光調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優(yōu)點，可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應用領(lǐng)域包含：
●     晶體（Wafer）
●     光盤/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk）
●     平面電組件（MEMS Components）
●     平面液晶顯示器（LCD）
●     高密度線路印刷電路板（HDI PCB）
●     IC封裝（IC Package）
以上其它材料分析與組件微表面研究
專業(yè)級的3D圖形處理與分析軟件（Post Topo）
●     提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析
●     提供自動表面平整化處理功能
●     提供高階標準片的軟件自校功能
●     深度/高度分析功能提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式
●     線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度
      （waviness）的測量分析?？商峁┒噙_17種的ISO量測參數(shù)與4種額外量測數(shù)據(jù)
●     區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計分析。
       具有平滑化、銳化與數(shù)字過濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換（FFT）處理功能。
●     量測分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
 
高速精密的干涉解析軟件（ImgScan）
●     系統(tǒng)硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光干涉條紋
●     垂直高度可達0.1nm
●     高度的分析算法則，讓你不在苦候測量結(jié)果
●     垂直掃描范圍的設定輕松又容易
●     有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇
●     平臺XYZ位置數(shù)顯示，使檢標的尋找快速又便利
●     具有手動/自動光強度調(diào)整功能以取得的干涉條紋對比
●     具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇
●     具有的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌
●     具有自動布補點功能
●     可自行設定掃描方向
 
檢測范例 

                                                           技術(shù)規(guī)格參數(shù)
型號 SWIM 1510MS
系統(tǒng)配備 顯微鏡、掃描控制器、移動平臺、取得單元、個人計算機
顯微鏡 單眼顯微鏡（標準配件）
干涉物鏡（選配）  放大率                     視野（mm）                   光學分辨率（nm）
   10X                             0.5                                     1.12
 20X                             0.25                                   0.84
 50X                             0.1                                      0.61                   
影像縮放                           1.0X（標配） 0.5X（選配）
垂直掃描控制器 掃描范圍

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掃描分辨率

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掃描模式

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光強度調(diào)整

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掃描速度 100 μm 400 μm(選配)

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0.1nm

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自動

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自動/手動

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12nm/s（）
樣品移動平臺 X、Y平面多動平臺

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Z軸移動平臺

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位置數(shù)字顯示單元

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偏移調(diào)整平臺   150mm*100mm,手動（標準配件）

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80mm, 手動(標準配件)
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三軸光學尺與三軸數(shù)字顯示器（分辨率1 μm）

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手動
  取得單元  影像傳感器

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 感測器解析度  面型CCD（標準配件）

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640*480圖像(標準配件)
電腦配件 Pentium-Computer,17" LCD  Monitor ,120G以上硬盤

分     
析     軟       體        MS-Windows相容的資料擷取與分析軟體 包含ISO粗糙度/階高分析,快速付利葉轉(zhuǎn)換和濾多，多樣的2D和3D觀測視角圖,外形分析,圖像縮放,標準影像檔案格式轉(zhuǎn)換等等
階高標準片(選配)         50nm                 170nm           230nm              470nm           1800nm