該金屬電容真空壓力計專為低真空測量設(shè)計，本產(chǎn)品采用金屬電容式原理，將鎳基合金膜片焊接在兩個電極前端，通過膜片的形變來改變膜片與電極的距離變化，從而產(chǎn)生一個線性的電容變化量，再配合專用的調(diào)理電路，將電容量轉(zhuǎn)換成 mV 信號，經(jīng)過信號放大、線性調(diào)理、抗干擾設(shè)計等輸出標(biāo)準(zhǔn)信號的一體化產(chǎn)品。
該產(chǎn)品已成功應(yīng)用于光伏、PVD/CVD等領(lǐng)域的企業(yè)， 有效替代進(jìn)口并實現(xiàn)了顯著的成本節(jié)約。
一、金屬電容真空壓力計的特點：
1、高精度、高穩(wěn)定性
2、耐磨損、耐腐蝕性
3、耐高過載特性
4、優(yōu)異的抗干擾設(shè)計
5、工作溫度范圍寬
二、金屬電容真空壓力計的應(yīng)用：
1、半導(dǎo)體處理室
2、PECVD 過程控制
3、等離子體滅菌器
4、核工業(yè)、鈾濃縮
三、產(chǎn)品簡介
該金屬電容真空壓力計專為低真空測量設(shè)計，本產(chǎn)品采用金屬電容式原理，將鎳基合金膜片焊接在兩個電極前端，通過膜片的形變來改變膜片與電極的距離變化，從而產(chǎn)生一個線性的電容變化量，再配合專用的調(diào)理電路，將電容量轉(zhuǎn)換成 mV 信號，經(jīng)過信號放大、線性調(diào)理、抗干擾設(shè)計等輸出標(biāo)準(zhǔn)信號的一體化產(chǎn)品。
四、金屬電容真空壓力計的產(chǎn)品參數(shù)
量 程 | 0…1torr;0…10torr;0…100torr;0…1000torr |
供 電 | 15…30VDC |
輸 出 | 0…10VDC; 0…5VDC;1…5VDC |
精 度 | 0.2%FS;0.5%FS;1.0%FS@25℃ |
補償溫度 | 0…50℃ |
介質(zhì)溫度 | -20…80℃ |
存儲溫度 | -40…85℃ |
溫 漂 | ≤0.04% FS/℃ |
穩(wěn)定性 | 0.5%FS/年 |
響應(yīng)時間 | ≤20mS |
測量介質(zhì) | 與鎳基合金兼容的氣體 |
外殼材質(zhì) | 304SS |
膜片材質(zhì) | 鎳基合金 |
電流消耗 | ≤10mA |
輸出負(fù)載 | >10KΩ |
電器連接 | 見接線方式 |
過程接口 | 見外形圖 |
五、金屬電容真空壓力計的外形圖
六、金屬電容真空壓力計的接線方式
七、金屬電容真空壓力計的選型指南
VM | 真空壓力計 | ||||||
01 | 金屬電容 | ||||||
02 | 陶瓷電容 | ||||||
S1 | 4-20mA;S2:// | ||||||
S3 | 0-5V | ||||||
S4 | 0-10V | ||||||
… | S5://;S6:RS485 | ||||||
U1 | 15-30VDC | ||||||
010 | 0.1Torr | ||||||
100 | 1 Torr | ||||||
101 | 10 Torr | ||||||
102 | 100 Torr | ||||||
103 | 1000 Torr | ||||||
C1 | KF16 | ||||||
C2 | 1/2VCR | ||||||
C3 | 1/4VCR | ||||||
C2F | 1/2VCR female | ||||||
C3F | 1/4VCR female | ||||||
E1 | KF2EDG 3.81 | ||||||
E2 | DB-9 | ||||||
E3 | DB-15 | ||||||
VM | 01 | S4 | U1 | 101 | C1 | E3 | |
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