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公司介紹主營產(chǎn)品

上海旭為光電科技有限公司，是一家專業(yè)從事超快激光、自適應(yīng)光學(xué)等領(lǐng)域相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)、引進(jìn)、銷售、方案設(shè)計(jì)、組裝集成、技術(shù)服務(wù)的現(xiàn)代高科技企業(yè)。專注于光電領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)與產(chǎn)品經(jīng)銷。公司致力于引進(jìn)國外很具性與創(chuàng)新性的光電技術(shù)與可靠產(chǎn)品，為國內(nèi)前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)。其代理品牌均處于相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展前沿，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、精密光學(xué)元件等，所涉足的領(lǐng)域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究與國防等。從事光電科技、機(jī)電科技、機(jī)械科技、電子科技、計(jì)算機(jī)科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)咨詢、技術(shù)服務(wù);機(jī)電設(shè)備、機(jī)械設(shè)備、通訊器材、電子產(chǎn)品、計(jì)算機(jī)軟件及輔助設(shè)備的銷售;從事貨物及技術(shù)的進(jìn)出口業(yè)務(wù)。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

ISTEQ公司開發(fā)了一種基于激光產(chǎn)生等離子體（LPP）的EUV光源。該光源具有的亮度和的穩(wěn)定性。它采用可自刷新的材料，無需中斷和更換燃料盒，因此持續(xù)運(yùn)行時(shí)間極長(zhǎng)。ISTEQ公司為L(zhǎng)PP光源開發(fā)的燃料是針對(duì)特定應(yīng)用的光譜范圍而設(shè)計(jì)的。然而，對(duì)于掩模檢查的應(yīng)用，公司開發(fā)了一種高頻錫旋轉(zhuǎn)靶，已在范圍內(nèi)獲得。

ISTEQ等離子體EUV光源TEUS 產(chǎn)品詳情

自從業(yè)界選擇遵循EUV路徑以來，Isteq集團(tuán)一直在研究這項(xiàng)技術(shù)。我們開發(fā)了一種基于激光等離子體（LPP）的EUV源。光源具有的亮度和的穩(wěn)定性。它還具有可更新的燃料，不會(huì)中斷，也無需更換燃料盒，因此為行業(yè)提供了的正常運(yùn)行時(shí)間。

我們?yōu)長(zhǎng)PP源開發(fā)的燃料特定于特定應(yīng)用的光譜范圍。但是，對(duì)于掩模檢測(cè)應(yīng)用，我們開發(fā)了一種高頻錫旋轉(zhuǎn)靶，該靶材已在范圍內(nèi)獲得。

由于我們的團(tuán)隊(duì)在該領(lǐng)域獲得的經(jīng)驗(yàn)和專業(yè)知識(shí)，我們用于生產(chǎn)EUV的技術(shù)與其他競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手相比具有許多優(yōu)勢(shì)。ISTEQ的XWS光源產(chǎn)品經(jīng)過專門開發(fā)，可用于各種應(yīng)用，包括光譜學(xué)，高分辨率顯微鏡，薄膜測(cè)量，表面測(cè)量等。這些資源基于技術(shù)，并受到的保護(hù)。?

ISTEQ等離子體EUV光源TEUS參數(shù)

型號(hào)	TEUS S-100	TEUS S-200	TEUS S-400
激光平均功率W	100	200	400
脈沖重頻 kHz	25或70	50或135（可調(diào)）	100或200（可調(diào)）
EUV功率立體角 sr	0.05
等離子體尺寸 μm	≤ 60或 ≤ 40		≤ 60或 ≤ 45
帶內(nèi)輻射轉(zhuǎn)換效率(13.5 nm±1%)	2 % @2π·sr or 1.6% @2π·sr
碎片處理系統(tǒng)后角內(nèi)光通量mW	11 或 9	22 或 18	44 或 40
碎片處理系統(tǒng)后光譜亮度W/mm2·sr	≥ 80或 ≥ 140	≥ 160或 ≥ 280	≥ 310或 ≥ 500
等離子體穩(wěn)定性	3% rms
在24/7運(yùn)行狀態(tài)下，在不使用特殊膜過濾器情況下，收集器壽命下降10%	不少于8個(gè)月	不少于4個(gè)月	不少于2個(gè)月
在24/7運(yùn)行狀態(tài)下，使用特殊膜過濾器情況下，收集器壽命下降10%	不少于18個(gè)月	不少于9個(gè)月	不少于4個(gè)月
維護(hù)時(shí)間間隔	4 個(gè)月 - 1 天	3個(gè)月 - 2天	2個(gè)月 - 1天
24/7 運(yùn)行模式下的正常運(yùn)行時(shí)間***	4個(gè)月	3個(gè)月	1個(gè)月
電源	5 kW	8.5 kW	10.5 kW
尺寸（長(zhǎng)×寬×高）mm	1500×1000×1200
重量，包括激光組件 kg	770
房間潔凈度等級(jí)	ISO 7
水流量	10升/分鐘	15升/分鐘	25升/分鐘

ISTEQ等離子體EUV光源TEUS

產(chǎn)品特點(diǎn)：

高亮度以及出色的穩(wěn)定性
最少的碎片
的正常運(yùn)行時(shí)間
高占空比和交鑰匙操作
用戶友好的自動(dòng)化協(xié)議，確保系統(tǒng)平穩(wěn)運(yùn)行，沒有中斷的風(fēng)險(xiǎn)。

產(chǎn)品應(yīng)用：

掩模和表面檢查：
圖案掩模檢測(cè) (PMI)
區(qū)域掩模檢測(cè) (AIMS)
掩?？瞻讬z測(cè) (MBI)
EUV 掃描儀檢
材料科學(xué)
晶圓檢查

關(guān)鍵詞：顯微鏡過濾器收集器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
標(biāo)準(zhǔn)比色光源箱	￥1000	東莞市	東莞市誠勝機(jī)械設(shè)備有限公司	2026-09-30	在線詢價(jià)
HA6000F頻閃測(cè)試儀	￥25000	杭州市	杭州貝諾光學(xué)科技有限公司	2026-09-24	在線詢價(jià)
超寬光譜光源	面議	合肥市	合肥脈銳光電技術(shù)有限公司	2026-09-03	在線詢價(jià)
艾德克斯ITECH 無源器件、光電器件精密測(cè)試源表 IT2806 200V3A20W	面議	深圳市	深圳市賽儀歐電子有限公司	2026-08-01	在線詢價(jià)
德國肖特Schott KL 1500 HAL冷光源	面議	北京市	北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司	2026-06-25	在線詢價(jià)
小尺寸二氧化碳傳感器CM1122	面議	武漢市	四方光電股份有限公司	2026-06-02	在線詢價(jià)

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